熱を無駄にしないで：なぜ金メッキランプが重要なのか
半導体ウェーハを扱っている人なら、1ワットも無駄にしてはいけないことを知っているでしょう。しかし、一般的な石英ランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうという点です。高価なエネルギーの半分が、ウェーハではなくランプのケースを温めるだけに使われてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。
そこで、私たちはランプの背面に高純度の金メッキを施しました。
なぜ金なのか？
見た目が良いからではありません。金は赤外線を反射する能力に優れているからです。銀やアルミニウムなどの代替材は、高温になると剥がれたり酸化したりしますが、金は安定しています。金は、背面からの熱を吸収し、それをウェーハに直接伝えます。
最良の点は、電源からより多くの電力を供給しなくても、熱の流れが大幅に向上することです。
ただし、注意点もあります。より多くのエネルギーを前方に送るため、電極も熱を感じることになります。最大出力で使用する場合は、冷却システムがその熱に耐えられるか確認する必要があります。冷却が不十分だと、フィラメントが壊れたり、シール部分が故障したりする可能性があります。これはトレードオフですが、管理可能な範囲です。
これらのランプは、既存の装置にそのまま取り替えて使用できます。チャンバー全体を再構築する必要はありません。単に交換するだけで、加熱領域を狭めつつ、ウェーハ全体の温度を均一に保つことができます。
ニーズに応じて、サイクルタイムを短縮するために利用することもできます。また、メンテナンスを重視する場合は、動作電圧を下げて、ランプの寿命を延ばすこともできます。
最後に、反射板を常に清潔に保つことです。簡単に思えますが、ケースに薄っすらとほこりが付くだけで、金メッキの効果が台無しになってしまいます。光学部品を清潔に保てば、エネルギーは本来あるべき場所、つまりウェーハに届きます。