ウェハートラック加熱ランプ

リソグラフィフロアでは、たった1℃のずれでもソフトベーク時にフォトレジストの膜厚が規格外になる。ハードベークの非均一性はパターン崩壊の原因となる。ウェハートラック上の加熱ランプは単なる部品ではなく、プロセスの信頼性をシフトごとに維持するための熱的基準点である。 内部構成の要点 このランプは石英封入...