वेफर ड्रायर में उपयोग होने वाले लैंपों के खराब होने से न केवल प्रसंस्करण प्रक्रिया रुक जाती है, बल्कि फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण भी रुक जाता है। इसके...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, यदि तापमान में हल्का-सा भी बदलाव हो जाए, तो वायरलाइन कंट्रोल पर असर पड़ता है। वहीं, यदि किसी एक स्थान पर तापमान बहुत अधिक...

300 मिमी लाइन पर, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में 2°C का अंतर केवल सीडी में होने वाला बदलाव ही नहीं है; बल्कि यह तो बर्बाद होने वाले वेफरों की संख्या में...

Out on the fab floor, you learn fast that a half-degree drift during a photoresist bake can push linewidths enough to scrap a whole lot of wafers....