लिथोग्राफी प्रक्रिया में, यदि तापमान में हल्का-सा भी बदलाव हो जाए, तो वायरलाइन कंट्रोल पर असर पड़ता है। वहीं, यदि किसी एक स्थान पर तापमान बहुत अधिक हो जाए, जबकि दूसरे स्थान पर तापमान कम रहे, तो इससे फोटोरेजिस्ट में खराबी आ जाती है। वेफर को सुखाना कोई सामान्य कार्य नहीं है; यह तो उत्पादन दक्षता के लिए आवश्यक है। हमने ऐसे लैंप बनाए हैं, जिससे तापमान को नियंत्रित रखा जा सके… भले ही बजट सीमित हो।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
ये लैंप, वेफर की सतह पर ±0.1°C की सीमा में तापमान को नियंत्रित रखने हेतु डिज़ाइन किए गए हैं… ताकि हर बार फोटोरेजिस्ट को समान तापमान ही मिले। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगें तेजी से कार्य करती हैं, इसलिए तापमान में कोई अतिरिक्त बदलाव नहीं होता। क्वार्ट्ज आवरण, क्लास 1–100 के स्टरल रूम मानकों के अनुरूप है… और फिलामेंट एवं सपोर्ट संरचना ऐसी है कि संचालन के दौरान कोई कण न उत्पन्न हो। 5,000+ घंटों तक आउटपुट स्थिर रहता है… और ये लैंप, ट्रैक-बेक मॉड्यूलों में उपयोग होने वाले मानक लैंपों के समान ही हैं।
ट्रैक-बेक प्रक्रिया में इन लैंपों का उपयोग क्यों फायदेमंद है?
हर बार विश्वसनीय तापमान ही आवश्यक है… ये लैंप तापमान को नियंत्रित रखते हैं… जिससे फोटोरेजिस्ट में खराबी नहीं होती… और महत्वपूर्ण आयामों पर भी नियंत्रण रहता है। तेज़ तापमान वृद्धि से बेकिंग प्रक्रिया तेज़ हो जाती है… लेकिन तापमान संतुलन बना रहता है… जिससे प्रति घंटे अधिक वेफर तैयार होते हैं। ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि सिस्टम को तापमान बनाए रखने हेतु कम समय ही लगता है। बदलने की आवश्यकता भी कम हो जाती है… क्योंकि ये लैंप बार-बार तापीय चक्रों को संभाल सकते हैं… इससे अतिरिक्त लैंपों की आवश्यकता नहीं रहती… और रखरखाव का समय भी कम हो जाता है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
ये लैंप, नियंत्रित तापीय प्रदर्शन हेतु डिज़ाइन किए गए हैं… लेकिन ये हवा के प्रवाह एवं लैंप की स्थापना की दिशा के प्रति संवेदनशील हैं। निर्धारित दूरी पर ही लैंप को स्थापित करें… अन्यथा गर्म स्थान एवं यांत्रिक तनाव का जोखिम रहता है। ट्रैक-बेक मॉड्यूल के वोल्टेज एवं कनेक्टर प्रकार के अनुरूप ही लैंप को स्थापित करें… ताकि पिनों का सही व्यवस्था हो… और कोई आर्किंग न हो। स्थापना के बाद थोड़ा समय तक लैंप को चलाकर तापमान स्थिरता की जाँच करें… ताकि यह पूरी उत्पादन प्रक्रिया के लिए उपयुक्त हो।