در خط تولید، ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری در انتظار استفاده هستند. فرآیند گرم کردن ویفرها الزامی است؛ زیرا بخشی از استانداردهای تولید محسوب میشود. حتی کمترین تغییر در دما نیز میتواند باعث تغییر ابعاد مهم ویفرها شود؛ در نتیجه فرآیند تولید مختل خواهد شد. ما از لامپهای مادون قرمز برای گرم کردن ویفرها استفاده کردهایم تا از چنین اختلافاتی جلوگیری شود.
از نظر فنی، مهم است که از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه برای گرم کردن سریع و مستقیم ویفرها استفاده شود. این لامپها میتوانند انرژی را به طور یکنواخت در سیلیکون و لایههای نازک توزیع کنند. این سیستم، یکنواختی دمایی ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ همچنین تکرارپذیری فرآیند نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد باقی میماند.
زمان پاسخگویی این لامپها کمتر از ۵۰ میلیثانیه است؛ بنابراین میتوانید دمای ویفرها را در طول فرآیندهای گرم کردن، کنترل کنید. عملکرد این لامپها در محیطهای پاک نیز بسیار خوب است؛ چرا که این لامپها از مواد با خلوص بالا ساخته شدهاند و از خروج گازهای مضر جلوگیری میکنند.
دلیل موفقیت این لامپها این است که در فرآیندهای لیتوگرافی، نیاز به گرم کردن منظم وجود دارد تا ضخامت فوتورزیست کنترل شود؛ در فرآیندهای بستهبندی نیز نیاز به گرم کردن منظم برای ایجاد پیوندهای بین مواد وجود دارد، بدون اینکه دمای مواد بیش از حد بالا برود. در فرآیندهای تمیزکردن و خشک کردن نیز نیاز به گرمای کنترلشده وجود دارد تا حلالها از روی سطح ویفرها خارج شوند، بدون ایجاد خطوط ناخواسته.
این لامپها این کنترل را فراهم میکنند؛ همچنین مصرف انرژی آنها کمتر از فرآیندهای گرم کردن معمولی است. همچنین، سرعت کاهش دما نیز باعث کاهش زمان فرآیند میشود. ما شاهد بودهایم که این لامپها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ کاهش در عملکرد آنها رخ دهد؛ یعنی نیاز به تعویض لامپها کمتر است و فرآیند تولید پایدار خواهد بود.
چیزهایی که باید از قبل بدانید:
برای نصب این لامپها، باید مشخصات مکانیکی و الکتریکی دستگاه را در نظر بگیرید؛ همچنین ولتاژ مورد نیاز، نوع کانکتور و روش خنککردن (هوا یا آب) نیز مهم هستند.
تابش این لامپها در خط دید مستقیم است؛ بنابراین ممکن است سایههایی ایجاد شود که باعث ایجاد نقاط سرد در سطح ویفرها شود. تنظیم جهت تابش و شکل پرتو نیز بخشی از فرآیند نصب است، نه چیزی که بعداً انجام شود.
انتظار داشته باشید که برای تثبیت عملکرد لامپها و بررسی یکنواختی دمایی، مدت کوتاهی زمان لازم باشد. پس از تنظیم صحیح، فرآیند تولید پایدار خواهد بود.