در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، اختلاف دمایی ۲ درجه سانتیگراد در فرآیند حرارتدهی، صرفاً منجر به تغییرات جزئی در ابعاد ویفر نمیشود؛ بلکه باعث هدررفت تعداد زیادی از ویفرها میگردد. بنابراین، ما لامپ گرمایشی کوارتزی-هالوژنی را طراحی کردیم تا رفتار حرارتی درون فرآیند تولید را تحت کنترل نگه دارد، حتی زمانی که فرآیند تولید در حالت کاملاً فعال باشد.
چه چیزی اهمیت دارد؟
فرستنده گرمایی، هالوژنی با طول موج کوتاه است که درون پوشش کوارتزی با خلوص بالا قرار دارد؛ این فرستنده، گرمای سریعی را با انرژی حرارتی کم ارائه میدهد. در سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین فوتورزیست نیز دمای یکنواختی را دریافت میکند. این لامپ، کنترل دقیق دما را در هر دو فرآیند حرارتدهی نرم و سخت فراهم میکند؛ همچنین خروجی آن آنقدر پایدار است که ابعاد مهم ویفر در طول فرآیند تولید در محدوده استانداردها باقی بماند. سازگاری این لامپ با اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰، به دلیل استفاده از موادی با میزان گازدهی کم و ساختاری که در دماهای بالا موجب ایجاد ذرات نمیشود، امکانپذیر است.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی اهمیت دارد؟
در لیتوگرافی، یکنواختی دما مستقیماً بر بازدهی تولید تأثیر میگذارد. با استفاده از این لامپ، میتوان کنترل دقیقی بر عرض خطوط تولید داشت؛ همچنین تعداد ویفرهای ردشده کاهش مییابد. پاسخ سریع لامپ به تغییرات دما، زمان فرآیند تولید را کاهش میدهد؛ همچنین خروجی پایدار لامپ، مانع از ایجاد محصولات ناقص میشود. این لامپ تا ۵۰۰۰ ساعت کار کرده است و کاهش خروجی آن کمتر از ۵٪ بوده است؛ این امر منجر به کاهش تعداد تعمیرات و توقفات غیربهنگام تولید میشود. مصرف انرژی نیز کم است، زیرا گرما متناسب با سطح ویفر تولید میشود، نه با جرم کل اتاق تولید.
نکات مهمی که باید در نظر گرفت:
این لامپ دوست ندارد که نقاط گرم موضعی وجود داشته باشد؛ بنابراین باید آن را با تنظیمات مناسب نصب کرد. همچنین باید جهت بازتاب نور و دمای سوکت لامپ را بررسی کرد؛ در غیر این صورت، گرمایش ناهموار خواهد بود. این لامپ با تجهیزات استاندارد OEM سازگار است؛ اما برای جلوگیری از مشکلات اتصال، باید در زمان تعمیرات پیشگیرانه، سازگاری آن را بررسی کرد.