لامپ خشککن وافر ارزانقیمت
در فرآیند لیتوگرافی، تغییرات جزئی در دمای پخت، کنترل ضخامت خطوط روی ویفر را مختل میکند؛ همچنین، پخت با دمای بالا در یک نقطه و دمای پایین در نقطه...
هیتر مادون قرمز خشککننده ویفر
در خط تولید، خشک کردن ویفر صرفاً یک مرحله اضافی نیست. این آخرین نقطه کنترل حرارتی پیش از قفل کردن راندمان است.
نقطه سرد در طول خشککردن IR به صورت یک...