حفظ تمیزی محیط کلاس ۱۰۰
اگر شما ویفرهای سیلیکونی را در محیط کلاس ۱۰۰ گرم میکنید، قطعاً از پیامدهای ناشی از آلودگی آگاه هستید. حتی یک ذره کوچک گرد و غبار – یعنی یک میکرون – میتواند باعث از بین رفتن کل محموله شما شود.
مشکل اینجاست که اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، آلوده هستند؛ زیرا هر بار که گرم یا سرد میشوند، ذرات ریزی تولید میکنند. این موضوع میتواند منجر به فاجعه شود.
ما برای حل این مشکل، از لامپهای IR ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم. این لامپها به طور خاص برای استفاده در صنعت نیمههادی طراحی شدهاند؛ در این صنعت، «تمیزی» معنای کاملاً متفاوتی دارد.
مبارزه با ذرات
ما از کوارتز با میزان ناخالصی بسیار کم استفاده میکنیم. چرا؟ چون این کوارتز مانع از نشت یونهای فلزی یا ترک خوردن لامپ در هنگام گرم شدن میشود.
قبل از بستهبندی این لامپها، آنها را تحت فرآیند تمیزکاری دقیقی قرار میدهیم؛ تا هرگونه آلودگی روی سطح آنها از بین برود. در این صورت، وقتی که کلید را فعال میکنید، تنها چیزی که به ویفر برخورد میکند، تشعشعات مادون قرمز است؛ هیچ چیز دیگری نه.
تنظیم دقیق دما
مهم نیست که محیط تمیز باشد؛ مهم این است که دما به درستی تنظیم شود. ما این لامپها را طوری تنظیم میکنیم که تشعشعات مادون قرمز به طور یکنواخت و سریع به سطح ویفر برسد. این کار باعث میشود که ویفر به سرعت گرم شود و هیچ نقطه سردی روی سطح آن باقی نماند.
البته، یک نکته مهم وجود دارد: کوارتز با خلوص بالا کمی حساس است؛ میتواند در برابر شوک حرارتی مقاومت کند، اما نمیتواند در برابر ضربه یا فشار مقاومت کند.
یک نکته دیگر: از لوازم متصلشونده سازگار با فشار خلأ استفاده کنید؛ در غیر این صورت، آلودگیهای جدیدی وارد محیط خواهد شد و هدف اصلی از استفاده از این لامپها برقرار نخواهد شد.
نصب لامپها در سیستم شما
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی بتوان آنها را جایگزین لامپهای فعلی کرد. این لامپها از نظر ابعاد و ویژگیهای الکتریکی با لامپهای فعلی شما سازگار هستند؛ بنابراین نیازی نیست وقت خود را صرف بازطراحی سیستم تغذیه برق کنید.
فقط یک نکته مهم: سیستم خنککننده خود را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که میتواند گرمای تولید شده توسط لامپها را مدیریت کند. در غیر این صورت، فیلامنت لامپ خیلی زود خراب خواهد شد.