نگهداری اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰ در وضعیت تمیز
وقتی که یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ را مدیریت میکنید، در واقع با چیزهای نامرئی در حال مبارزه هستید. حتی یک میکرون گرد و غبار – چیزی که اصلاً قابل مشاهده نیست – میتواند باعث خراب شدن کل محموله ویفرها شود. این موضوع بسیار ناامیدکننده است. معمولاً علت این مشکل، چیزی است که اصلاً انتظارش را نداریم: یعنی عناصر گرمایشی مورد استفاده.
اگر لامپها گازهای سمی تولید کنند یا ذرات ریزی را از خود دفع کنند، در واقع در حال ورود آلایندهها به فرآیند تولید هستید. به همین دلیل، ما از کوارتز مصنوعی با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم.
چرا جنس ماده اهمیت دارد؟
اکثر انواع شیشه یا کوارتز ارزان، قادر به تحمل گرما نیستند؛ آنها در برابر فشار حرارتی زیاد، شروع به تخریب میکنند. این موضوع خوب نیست.
ما از کوارتز مصنوعی استفاده میکنیم؛ زیرا مقاومت بالایی دارد، از نظر شیمیایی تخریب نمیشود و پوستهاش نیز در هم نمیشکند. همچنین، ما اطمینان میکنیم که پوسته کوارتز به خوبی بسته شده باشد؛ این کار باعث میشود که حفرههای ریزی که میتوانند محل پنهان شدن آلایندهها باشند، از بین بروند؛ در نتیجه سطح ویفر در طول فرآیندهای گرمایی، تمیز باقی میماند.
تنظیم صحیح دما
ابزارهای مورد استفاده برای پردازش ویفرها، نسبت به سرعت افزایش دما حساس هستند. برای رسیدن به دمای مناسب، ما قطر رشتههای الکتریکی و ولتاژ را تنظیم میکنیم تا خروجی طیفی مناسبی حاصل شود.
نکته مهم این است که امواج مادون قرمز کوتاه، سریعتر از امواج بلند به سطح ویفر برخورد میکنند؛ این امر باعث میشود که پروفیل حرارتی در سراسر سطح ویفر یکنواختتر شود.
اما باید مراقب باشید؛ این لامپها بسیار داغ هستند. اگر سعی کنید با افزایش بیش از حد ولتاژ، دمای مورد نظر را به دست آورید، در واقع در حال تخریب سریع رشتههای الکتریکی لامپ هستید. باید تعادلی بین توان لامپ و توان خنککنندگی آن برقرار کنید تا انتهای لامپ آسیب نبیند.
تعویض لامپها بدون دردسر
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد. هیچ دردسری وجود ندارد. اتصالات این لامپها به گونهای طراحی شدهاند که از ایجاد گرد و غبار جلوگیری کنند؛ زیرا آخرین چیزی که در هنگام تعویض لامپ میخواهیم، وجود ذرات بیشتری در هواست.
جایگذاری لامپ باید دقیق باشد؛ اگر لامپ کمی از جای خود منحرف شود، پرتو مادون قرمز به درستی به سطح ویفر برخورد نخواهد کرد و نقاط گرم روی سطح ویفر ایجاد خواهد شد. ما از تغییرات جزئی در محل قرارگیری لامپ جلوگیری میکنیم تا لامپ دقیقاً در جایی قرار بگیرد که سیستمهای نوری انتظارش را دارند.
نکته آخر: از فنیهای خود بخواهید که مراقب باشند؛ فقط از دستمالهای بدون ریزه و محلول IPA برای تمیز کردن لامپ استفاده کنند. یک اثر انگشت روی سطح کوارتز، در دماهای بالا میتواند باعث ایجاد لکههای دائمی شود؛ این موضوع میتواند توزیع حرارت را مختل کند. رفع این مشکل کار دشواری است؛ بنابراین بهتر است از ایجاد آن جلوگیری کنیم.