Die meisten herkömmlichen Heizelemente geben die Wärme in alle Richtungen ab. In einem beengten Umfeld wie bei Halbleitergeräten ist das ein Albtraum. Die „Überhitzung“ breitet sich dann direkt in den Wänden des Geräts aus. Wenn die Innenseiten des Gehäuses so heiß werden, dass man sie nicht mehr berühren kann, hat man nicht nur Probleme mit der thermischen Stabilität – es handelt sich außerdem um einen Sicherheitsverstoß.
Wir lösen dieses Problem, indem wir Hochleistungs-IR-Lampen mit speziellen Gehäusen aus Edelstahl kombinieren.
Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie hinmuss
Beim direkten Heizen geht es nicht nur um die Lampe selbst – vielmehr sind Reflektoren und Gehäuse entscheidend. Wir verwenden poliertes Edelstahl oder Aluminium, damit die IR-Wellen direkt auf das Wafer oder Substrat gerichtet werden können. Durch die Abschirmung der Seiten und Rückseite wird verhindert, dass die Wärme in den Rahmen des Geräts gelangt. Das Ergebnis: Die äußeren Wände bleiben kühl, und die Wärme gelangt genau dorthin, wo sie hingehört – nirgendwo sonst.
Materialien – was wirklich zählt
Wir verwenden Edelstahl für die Gehäuse, weil dieses Material besonders widerstandsfähig ist, insbesondere in rauen chemischen Umgebungen. Es verformt sich auch nicht unter den hohen thermischen Belastungen, die im Halbleiterbereich auftreten.
Doch der eigentliche Schlüssel liegt in der Geometrie: Das Gehäuse muss die Lampe perfekt halten. Wenn der Reflektor auch nur wenige Millimeter verschoben ist, entstehen Hotspots auf dem Werkstück – das ist ein Problem.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Es gibt einen Kompromiss: Diese Gehäuse benötigen mehr Platz. Man kann sie nicht einfach in eine Stelle einsetzen, die für eine einfache Heizspule vorgesehen ist. Man muss die Tiefe des Reflektors berücksichtigen und einen Luftspalt lassen, damit das Gehäuse nicht überhitzt.
Ein weiterer Tipp: Verwenden Sie Leitungen mit hoher Temperaturbeständigkeit. Auch wenn das Gehäuse den Rahmen schützt, wird der Lampenkopf trotzdem sehr heiß. Außerdem darf man die Belüftung nicht vergessen – sonst verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe. Lassen Sie die Lampe atmen, dann hält sie länger.