Kohlenstofffasern-IR-Beleuchtung gegen Heißluft: Eine bessere Methode zur Erwärmung von Bauteilen
Falls Sie weiterhin Heißluft zur Bearbeitung von Halbleitern verwenden, spielen Sie im Grunde nur ein Wartespiel.
Stellen Sie sich vor, wie das funktioniert: Zuerst wird die Luft erhitzt, anschließend erwärmt diese Luft wiederum den zu bearbeitenden Bauteil. Es handelt sich dabei um ein Zwischenstadium. Bei der tiefen Bearbeitung führt dieses Zwischenstadium zu erheblichen Verzögerungen.
Kohlenstofffasern-IR-Lampen eliminieren dieses Zwischenstadium völlig. Anstatt die Luft zu erwärmen, trifft die Energie direkt auf das Substrat.
Es ist ein völlig anderes Erlebnis.
Mit Heißluft muss man ständig auf den Timer schauen und darauf warten, bis die Kammer ausreichend erhitzt ist. Das ist eine Verschwendung von Zeit. Mit Kohlenstofffasern-IR-Lampen hingegen erreicht man die maximale Temperatur schon nach Sekunden.
Das ist ein großer Vorteil in Bezug auf die Zeitersparnis. Durch das Weglassen der Luft entfällt auch die thermische Trägheit. Dadurch können mehr Wafer pro Zeiteinheit bearbeitet werden.
Jetzt sprechen wir über die Hitze selbst.
Herkömmliche Metallspulen können dazu führen, dass „heiße Punkte“ entstehen, die die Materialien beschädigen können. Kohlenstofffasern hingegen verteilen die Wärme gleichmäßig über die Lampe – man muss sich also keine Sorgen um Schäden am empfindlichen Material machen.
Aber es gibt auch Nachteile: Diese Lampen geben viel Energie ab. Man kann sie nicht einfach anschließen und vergessen. Man muss die Kühlfans sowie Kühlkörper richtig einstellen. Wenn der Gehäuse zu heiß wird, können die elektrischen Anschlüsse beschädigt werden – dann ist man wieder am Anfang.
Außerdem spielt auch der Platzfaktor eine Rolle. Viele Betriebe wechseln auf Kohlenstofffasern-IR-Lampen, weil dadurch der Platzbedarf reduziert wird. Man kann die großen Gebläse sowie die komplizierten Leitungen weglassen. Man muss lediglich die Lampen anstecken, die Entfernung einstellen – und schon ist alles bereit. In vielen alten Anlagen ist dieser Wechsel ziemlich einfach.
Es ist allerdings nicht perfekt. Da IR-Strahlung strahlungsartig ist, muss man auf „Schattenwirkungen“ achten. Wenn das Bauteil eine ungewöhnliche Form hat, können bestimmte Stellen kein Licht erhalten. Man muss also sorgfältig darauf achten, wo man die Lampen platziert, damit der Lichtweg ungehindert bleibt.
Wenn man die Platzierung richtig macht, verkürzt sich die Bearbeitungszeit erheblich.