Warum wir bei der tiefen Bearbeitung auf Infrarotlampen statt auf Warmluft umgestiegen sind
Wenn Sie weiterhin auf die Zirkulation von Warmluft für die Bearbeitung Ihrer Wafer setzen, warten Sie im Grunde nur vergeblich ab.
Denken Sie darüber nach: Warmluft ist nichts anderes als Konvektion. Man heizt die Luft – die Luft wiederum heizt das Substrat. Dabei vergeht viel Zeit, bis die Wärme überhaupt ankommt. Es handelt sich dabei um einen langsamen Prozess. Es gibt eine Verzögerung, die man praktisch spüren kann.
Durch den Einsatz von Ultra-High-Purity-Infrarotlampen ändert sich alles. Anstelle dazu, den Raum zu heizen, werden elektromagnetische Strahlen mit Lichtgeschwindigkeit direkt auf das Ziel gerichtet.
Es geht sofort.
Wenn die Zeiten für das Aufheizen und Abkühlen extrem verkürzt werden, steigt die Produktivität enorm an. Wenn man pro Zyklus nur 30 Sekunden einsparen kann, spart man nicht nur Zeit – am Ende eines Schichtbetriebs entstehen dadurch doppelte Erträge. Das bedeutet viele zusätzliche Produkte.
Aber man kann einfach keine beliebige Halogenlampe verwenden.
In einem Vakuum voller korrosiver Gase würde eine Standardlampe sofort versagen. Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz – schließlich darf es keine „Ausgasung“ geben. Jede kleine Unreinheit, die aus dem Glas auf die Wafer gelangt, zerstört die Qualität der Wafer. So einfach ist das.
Der wahre Vorteil liegt jedoch in der Leistungsdichte. Man kann eine enorme Menge an Leistung in einen kleinen Raum packen. Dadurch kann man die gewünschten Temperaturwerte fast sofort erreichen. Es muss nicht mehr darauf gewartet werden, bis eine Luftpumpe Luft durch den Raum pumpt. Die Wärme kommt genau dorthin, wo sie benötigt wird.
Aber es ist nicht alles perfekt. Es gibt Dinge, auf die man achten muss.
Infrarotstrahlung ist gerichtet – sie „umschließt“ ein Teil nicht wie Warmluft. Es braucht eine klare Sichtlinie. Wenn die Position der Lampen falsch ist, entstehen kühle Stellen auf den Wafern. Man muss also sorgfältig darauf achten, wo die Lampen platziert werden.
Und noch eine Warnung: Diese Hochleistungs-Infrarotlampen werden sehr heiß. Ich meine wirklich sehr heiß – besonders an den Anschlüssen. Wenn die Verkabelung oder die Kühlvorrichtungen nicht gut genug sind, können die Anschlüsse beschädigt werden.
Wenn man die richtige Hardware verwendet, hat man alles im Griff.