
为何我们选择红外线技术来处理无铅半导体材料
随着对环保、无铅标准的重视,我们不得不重新考虑如何进行材料的固化处理。传统的对流式烤箱已经无法满足需求了。因此,我们转而使用真空腔体内的红外线加热器。 红外线加热器利用的是电磁辐射来加热材料,这种方式更为清洁,无需使用有害的化学溶剂,而且干燥过程中的碳排放量也大幅降低。
在真空中实现加热
问题在于:在真空中不存在对流现象,因此无法通过吹热风的方式来加热材料。 红外线加热器则通过直接将光子传递到材料表面来解决问题。这种方式既高效又迅速,无需浪费能量去加热整个腔体。我们可以精准地针对材料的吸收频段进行加热,而不必加热整个腔体。
热源的原理
为了达到所需的温度,我们会使用短波或中波红外线发射器。这类装置能在极小的空间内产生强大的热量。 通常,我们会用石英将它们包裹起来,以防止晶圆受到污染。不过,由于没有空气来带走热量,因此必须为这些装置配备专用的水冷系统。**千万不要忽视这一点。**如果冷却系统出现故障,密封件很可能会在不知不觉中损坏。
实际应用中的权衡
红外线加热的优势在于其速度极快,原本需要数小时的工艺过程现在只需几分钟即可完成。 不过,它并非完美无缺。红外线是定向加热的,如果材料的形状复杂,就可能会出现某些区域无法被加热的情况。为了解决这个问题,就需要使用多组灯管,或者通过反射器来确保晶圆能够得到均匀的加热。 总的来说,使用红外线技术可以避免向空气中排放挥发性有机化合物,是一种更清洁、更高效的无铅材料固化方法——当然,前提是你的供电系统和冷却系统能够承受如此高的温度。