如何保持100级洁净室的清洁状态
在运营100级洁净室时，哪怕有一点点灰尘都会带来严重问题。在半导体行业中，真正的威胁来自于气态物质的释放以及那些会破裂的材料。为了防止这种情况发生，我们采用了一种简单的解决方案：使用高纯度石英制成的红外灯，以及带有特氟龙绝缘层的电线。
关于高纯度石英的要点
我们使用合成熔融石英作为灯具的封装材料。普通的玻璃无法承受高温——它们会开始释放离子或产生微小的碎片。这对晶圆来说无疑是个灾难。
这类灯泡利用短波红外辐射来加热，能量直接作用于被加热的物体上，而不会让周围的空气变热。这样一来，就不会有气流带来的灰尘问题了。
为何要选择特氟龙材料
普通的PVC或硅胶电线不耐热。当它们受热时，会释放出挥发性有机化合物。这些物质会附着在硅片上，从而导致整个产品报废。
因此，我们选择用PTFE（特氟龙）作为绝缘材料。它能够承受高温而不产生任何问题，也没有烟雾或碎屑，从而确保了设备的清洁性。
给工程师们的建议
需要注意的是，高纯度石英虽然耐热，但也很容易碎裂。在安装过程中，如果不小心撞到它，它就可能会破裂。因此，确保安装支架有一定的弹性，以避免产生应力点。
此外，还要注意电线的弯曲问题。特氟龙不如硅胶那样容易弯曲，如果电线被折弯，其绝缘层就有可能受损。所以，最好让电线保持一定的松弛状态，这样就能避免问题。
总结
当将石英与PTFE结合使用时，就可以得到一个不会漏气的加热系统。这样一来，不仅可以获得足够的加热效果，还能有效避免空气中的颗粒物带来的问题。这样的设计非常实用。