
Зменшення викидів вуглецю на заводах з виробництва полупровідників: кращий спосіб сушіння
Будемо чесні – заводи з виробництва полупровідників є великими споживачами енергії. Більша частина енергії йде на теплову обробку та сушіння. Якщо ви все ще використовуєте традиційні конвективні печі, то фактично ви просто платите за нагрівання величезної металевої коробки та повітря всередині неї. Це марна трата ресурсів.
Якщо ви хочете справді зменшити свій вплив на навколишнє середовище, потрібно припинити нагрівати приміщення та почати нагрівати самі пластини. Саме тут на допомогу приходять інфрачервоні лампи.
Проблеми традиційного способу
Уявіть собі стандартний цикл сушіння: потрібно нагрівати всю камеру, стіни, повітря… Усе. Це повільно та неефективно.
Ми перейшли на лампи інфрачервоного світла короткої довжини хвилі – вони не потребують посередників для передачі тепла. Замість того, щоб нагрівати повітря для нагрівання пластин, інфрачервоне випромінювання потрапляє безпосередньо на поверхню пластин. Це швидко. Дуже швидко. Під час аналізу енергоспоживання ми бачимо, що витрати енергії зменшуються на 30–50%. Це значна економія як для рахунків за електроенергію, так і для планети.
Правильна реалізація технології
Щоб це працювало, ми використовуємо лампи кварцового типу високої потужності. Чудово те, що їх можна розташувати в окремих зонах. Не потрібно нагрівати все приміщення – можна регулювати потужність у окремих зонах, щоб уникнути надмірного нагріву. Ми підтримуємо стабільну температуру за допомогою контролерів SCR, які швидко реагують на зміни температури.
Але є одна проблема: ці лампи стають дуже гарячими, особливо на кінцях. Якщо не дбати про правильне охолодження, лампи просто згорять. Це складний баланс, але як тільки охолодження буде належним, все буде працювати без проблем.
Яка користь від цього?
Окрім екологічних переваг, цей підхід дозволяє краще функціонувати заводу. Системи інфрачервоного опромінення займають значно менше простору. Оскільки цикли сушіння є коротшими, можна обробляти більше пластин без необхідності купувати та встановлювати додаткове обладнання.
Це робить весь процес більш ефективним. А якщо хочете ще більше оптимізувати процес, можна поєднати ці системи з пристроями для повернення енергії. Таким чином можна використовувати тепло, яке утворюється під час охолодження, для інших цілей. Це просто логічно.