
На виробничій лінії якість квантових чипів не залежить від випадку. Усе зводиться до ефективного контролю температури. Кілька градусів відхилення під час процедури висушування фотополімеру можуть зруйнувати структуру квантових бітів, що призведе до марнування тижнів роботи над процесом інтеграції. Ми створили спеціальний нагрівач для квантових процесорів, щоб усунути ці проблеми.
Що насправді має значення Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне світло через кварцове вікно, а також елементи нагріву, зроблені з вуглецевих волокон. Це дозволяє швидко та ефективно нагрівати поверхню чипа. Рівномірність температури на активній зоні залишається в межах ±0,1°C, а повторюваність результатів – не більше 0,05°C. Для чистих приміщень класу 1–100 цей нагрівач забезпечує низький рівень випаровування газів та відсутність частинок під час теплових циклів. Це забезпечує надійну роботу 24/7 без перерв, а також тривалий термін служби – понад 50 000 годин.
Чому це підходить для процесу виробництва квантових чипів Цей нагрівач розроблений для процедур, які є ключовими для виробництва квантових чипів: літографія, процедури висушування тощо. Температура швидко досягає необхідного рівня, тож час простою зменшується, а профіль фотополімеру залишається стабільним. Це дозволяє краще контролювати параметри чипа, зменшити кількість необхідних корекцій та планувати час виконання процесу. Також знижується споживання енергії – швидка реакція нагрівача означає менший час нагрівання, тож витрачається менше кіловат-годин на один чип.
Що потрібно спланувати перед встановленням Для правильної роботи нагрівача потрібен окремий джерело живлення 24VDC та ефективна теплоізоляція від сусідніх модулів. Без цього стабільність температури буде порушена. Нагрівач підтримує формат SECS/GEM, але інтеграція можлива лише за умови правильної налаштування обладнання заздалегідь. Також потрібно заздалегідь спланувати розташування нагрівача – потоки повітря та відстані між елементами впливають на рівномірність температури.
Ми розробляємо обладнання з урахуванням всіх аспектів процесу виробництва. Ви можете користуватися ним без жодних проблем.