Het stoppen van de nachtmerrie: uw wafers veilig houden tegen lampdefecten
Als u met een hoge productie van wafers werkt, weet u vast al dat een defecte lamp meer is dan alleen een irritatie. Het is een ramp.
Wanneer één kwartskatje barst, vallen er plotseling glasdeeltjes en andere stofdeeltjes op uw substraat. Hierdoor wordt een hele partij afval. Het is een schokkend gebeuren. Precies daarom ontwerpen we de IR-lampen voor onze schone ruimtes met het oog op het ‘ergste scenario’.
Het vuil binnenhouden
We vertrouwen niet alleen op één laag glas. We gebruiken een dubbellaagse constructie.
De verwarmings-elementen zitten in hoogpuur gevormd kwarts, maar er wordt ook een broeksbestendige huls of een speciale coating overheen geplaatst. Denk hierbij aan een soort verzekering. Als het binnenste filament kapotgaat of de katje door thermische schokken barst, blijven de brokstukken binnenin zitten. Er komt geen glasstof op uw wafers terecht. Geen paniek dus.
Omgaan met de hitte
De meeste lampen gaan kapot omdat de hitte niet gelijkmatig wordt verspreid. Dit zorgt voor ‘ hete punten’, waardoor het kwarts veel te snel slijt.
Om dit te voorkomen, hebben we de elektroden en sluitingen aangepast, zodat ze scherpe temperatuurschwankelingen kunnen weerstaan zonder dat het materiaal beschadigd raakt. We passen ook de verhouding tussen vermogen en lengte aan. Het is een kleine aanpassing, maar het zorgt ervoor dat de lamp stabiel blijft en schade wordt voorkomen.
De trade-off
Het nadeel is dat deze beschermende hulsels wel een deel van het infrarode licht tegenhouden. U zult waarschijnlijk een daling van 5-10% in de uitgezonden hitte zien vergeleken met een lamp zonder deze hulsels. Het is een klein offer om gerust te kunnen zijn, maar u moet de instellingen van het vermogen of de tijd dat de lamp brandt iets aanpassen om de gewenste temperaturen te bereiken.
Correct installeren
Tot slot: het kabelsysteem. We gebruiken gestandaardiseerde connectoren, want losse verbindingen leiden tot problemen. Losse verbindingen zorgen voor spanningspieken, waardoor de temperatuur aan de uiteinden van de lamp stijgt en het kwarts kan barsten. Zorg er dus voor dat alles goed is verbonden en dat de spanning constant is. Dan zullen uw lampen hun volledige levensduur behouden, zonder dat uw productiekwaliteit in gevaar komt.