Op de lithografieafdeling kan een lichte verschuiving in de baktemperatuur leiden tot problemen met de controle van de dikte van de fotorezystlaag. Een te hoge temperatuur op één plek en een te lage temperatuur op een andere plek zorgt er uiteindelijk voor dat de fotorezyst niet meer goed functioneert. Het drogen van de wafers is geen onbelangrijk onderdeel van het proces – het heeft invloed op de kwaliteit van de productie. We hebben onze lampen zo ontworpen dat de temperatuur nauwkeurig onder controle blijft, zelfs wanneer rekening moet worden gehouden met beperkingen qua budget.
Wat technisch gezien belangrijk is:
De lamp is zo ontworpen dat de temperatuur over het gehele oppervlak van de wafel binnen ±0,1°C blijft. Hierdoor krijgt de fotorezyst elke keer dezelfde temperatuur. Het kortegolflange infrarode licht kan snel worden geregeld, zodat de cyclustijd kort blijft zonder dat de temperatuur te hoog wordt. De kwartskern van de lamp is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De constructie van de lamp zorgt er bovendien voor dat er nauwelijks stofdeeltjes worden geproduceerd tijdens het gebruik. De output van de lamp blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur. De lamp past gemakkelijk in de standaardlamphouder die wordt gebruikt in de bake-modules.
Dit maakt de lamp ideaal voor gebruik in bake-modules: je hebt steeds een betrouwbare temperatuur nodig. De lamp zorgt ervoor dat de temperatuur gelijkmatig is, waardoor defecten in de fotorezystlaag worden voorkomen. Door een snellere temperatuurstijging kunnen de bakstappen worden verkort, zonder dat de gelijkmatigheid van de temperatuur wordt aangetast. Dit resulteert in meer wafers per uur. Ook de energieverbruik neemt af, omdat het systeem minder tijd nodig heeft om de gewenste temperatuur te behouden. De vervangingsintervallen worden langer, omdat het systeem meerdere thermische cycli kan doorstaan. Hierdoor zijn er minder reservelampen nodig en zijn de onderhoudskosten lager.
Enkele praktische tips:
Deze lampen zijn ontworpen voor nauwkeurige temperatuurbeheersing, maar ze zijn gevoelig voor de luchtstroom en de manier waarop ze worden geïnstalleerd. Installeer de lampen met de vereiste afstand tussen hen en gebruik de juiste houder. Anders kan dit leidden tot hete plekken en mechanische spanningen. Zorg dat de spanning en het type aansluiting van de lamp overeenkomen met die van de bake-module. Plan na de installatie een korte proefperiode in, zodat je kunt controleren of de temperatuur voldoet aan de vereisten voordat je de lamp volledig in productie gebruikt.