फैब्रिकेशन लाइन पर, 95°C पर होने वाली “सॉफ्ट-बेक” प्रक्रिया के दौरान कोई चेतावनी संकेत नहीं दिया जाता। इसका परिणाम यह होता है कि वेफर नष्ट हो जाते हैं, एवं उत्पादन दर भी अपेक्षाओं के अनुरूप नहीं होती। लिथोग्राफी में, तापमान केवल एक पैरामीटर ही नहीं है… बल्कि यह ही प्रक्रिया का मूल है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हीटर CE-प्रमाणित है; इसमें शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्व एवं क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल सिस्टम है। यह हीटर, बेकिंग सतह पर वेफरों के तापमान को ±0.1°C की सीमा में बनाए रखता है। कंट्रोल लूप, बैचों को तेजी से बदलने के दौरान भी तापमान को नियंत्रण में रखता है। यह हीटर, क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप डिज़ाइन किया गया है… ताकि कोई भी कण उत्पन्न न हो। इसके कारण, हर दिन स्थिर “सॉफ्ट-बेक” एवं “हार्ड-बेक” प्रक्रियाएँ होती हैं… एवं तापमान संबंधी मापदंड भी नियंत्रण में रहते हैं।
वास्तविक फैब्रिकेशन लाइनों में यह क्यों कारगर है?
यह उपकरण 24×7 चलता रहता है… बिना किसी समस्या के। बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के काम करना, कोई नारा नहीं… बल्कि डिज़ाइन का लक्ष्य है। इसके लिए उच्च गुणवत्ता वाले कंपोनेंट, अतिरिक्त सेंसर, एवं सावधानीपूर्वक डिज़ाइन आवश्यक है। इसके परिणामस्वरूप नष्ट होने वाले वेफरों की संख्या कम हो जाती है… एवं उत्पादन दर भी बेहतर हो जाती है। ऊर्जा खपत भी नियंत्रण में रहती है… ताकि प्रति वेफर लागत कम हो सके।
क्या करना आवश्यक है?
इसकी स्थापना आसान है… लेकिन हीटर को क्लीनरूम-ग्रेड की ऊर्जा आपूर्ति की आवश्यकता है। वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ाव एवं ग्राउंड लूप, तापमान में उतार-चढ़ाव का कारण बन सकते हैं… इसलिए फिल्टर्ड ऊर्जा आपूर्ति आवश्यक है… एवं कनेक्टरों की जाँच भी आवश्यक है। इसके बाद ही इसका उपयोग किया जा सकता है। एक बार सेट हो जाने के बाद, यह प्रक्रिया लगातार चलती रहती है।