Pourquoi le chauffage par rayonnement infrarouge directionnel est la solution idéale pour les salles propres
La plupart des radiateurs fonctionnent en réchauffant l’air qui les entoure, ce qui, à son tour, réchauffe l’objet que l’on souhaite chauffer. Dans une salle propre destinée à la fabrication de semi-conducteurs, cela représente un véritable problème.
Lorsque l’on chauffe toute la partie intérieure d’une machine, cette chaleur ne reste pas en place : elle se déplace. Soudain, le châssis de la machine devient brûlant au toucher – ce qui constitue un danger pour les opérateurs. De plus, les capteurs sensibles sont affectés par cette chaleur excessive.
Comment résoudre ce problème
Nous utilisons plutôt des lampes à rayonnement infrarouge à ondes courtes. Imaginez-en une lampe de poche, mais qui produit de la chaleur. Le rayonnement se déplaçant en ligne droite, il ne perturbe pas l’air qu’il traverse ; il cible uniquement l’objet qui l’absorbe. En ajustant la longueur focale de la lampe, nous pouvons diriger cet énergie directement vers la puce ou le substrat à chauffer. L’énergie atteint sa cible et s’arrête là. Comme les parois internes de l’équipement ne se trouvent pas sur la trajectoire directe du rayonnement, elles restent froides.
Les détails techniques
Pour obtenir la densité de chaleur nécessaire sans faire fondre l’enveloppe extérieure de l’appareil, nous utilisons ces lampes en mode haute intensité, par des impulsions de courte durée. Nous utilisons des enveloppes en verre de quartz afin que les lampes puissent atteindre leur température presque instantanément. De plus, nous utilisons des réflecteurs spéciaux pour maintenir le rayonnement concentré. Cela empêche la chaleur de se diffuser dans le reste du châssis de la machine.
Un conseil important : veillez bien à l’alignement des éléments. Même un léger décalage de quelques degrés peut entraîner le fait que la chaleur ne touche plus correctement la puce, mais plutôt les fils électriques et les panneaux du châssis.
Quelles sont les avantages concrèts ?
Le meilleur avantage ? Vous n’avez plus besoin de ces gros ventilateurs de refroidissement. Ces appareils sont bruyants, et surtout, ils créent des particules indésirables dans la salle propre. Avec ce système, vous obtenez un temps de montée en température plus rapide, et l’enveloppe extérieure de l’appareil ne devient pas trop chaude au toucher.
Un dernier conseil : assurez-vous que votre alimentation électrique puisse supporter l’augmentation brutale de courant lorsque ces lampes s’allument. Si vos câbles sont trop fins, vous risquez des baisses de tension, ce qui entravera la stabilité de la température.