في الخطوط الإنتاجية، ينتظر رقاقة بحجم 200 مم دورها لتُعالج بمادة الفوتوريزست. عملية التسخين ضرورية للغاية، ولا يمكن تجاهلها؛ فأي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار جزء صغير من درجة واحدة قد يؤدي إلى تغيير في الأبعاد المطلوبة. لذلك، قمنا بتصميم نظام التسخين باستخدام مصابيح الأشعة تحت الحمراء لمنع حدوث أي خسائر في جودة المنتج.
من الناحية التقنية، نستخدم مصابيح هالوجينية من نوع الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة لتوفير تسخين سريع ومباشر. يمكن لهذه المصابيح أن تسخّن السيليكون والأغشية الرقيقة بشكل فعال. يحافظ النظام على استقرار درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن الدقة في التسخين تظل ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية من عملية إلى أخرى.
زمن الاستجابة للنظام أقل من 50 مللي ثانية، مما يسمح بالحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة أثناء عمليات التسخين المختلفة. كما أن تصميم النظام يضمن بيئة نظيفة للغاية، حيث يتم التحكم في توليد الجسيمات بشكل كامل، كما أن هيكل المصابيح مصنوع من مواد عالية النقاء لتقليل الغازات المنبعثة منها.
لماذا يعمل هذا النظام في الأماكن التي نحتاجه فيها؟ في عملية الطباعة، نحتاج إلى عملية تسخين متكررة لضمان ثبات سمك مادة الفوتوريزست والقضاء على الموجات الثابتة. أما في عملية التغليف، فنحتاج إلى عملية تسخين تساعد في ربط الجزيئات دون تسخين المواد الموجودة في الأسفل. وفي عمليات التنظيف والتجفيف، نحتاج إلى حرارة مُنظمة لإزالة المذيبات دون إحداث أي مشاكل.
توفر هذه المصابيح القدرة على التحكم في درجة الحرارة، وذلك باستخدام طاقة أقل مقارنة بالأفران التقليدية. كما أن الانخفاض السريع في درجة الحرارة يقلل من وقت العملية. لقد لاحظنا أن الأجهزة يمكن أن تعمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن يقل الأداء بأكثر من 5%، مما يعني حاجة أقل لاستبدال المصابيح واستقرارًا أكبر في عملية الإنتاج.
ما يجب أن تعرفه مسبقًا: يتطلب التركيب مطابقة الخصائص الميكانيكية والكهربائية للجهاز. يجب معرفة الجهد المطلوب، ونوع الموصلات، وطريقة التبريد (هواء أو ماء) قبل الطلب.
إن إشعاع المصابيح ينتقل في خط مستقيم، لذا فإن الأجزاء المحيطة بالرقاقة قد تخلق مناطق باردة. لذلك، يجب ضبط الرقاقة بشكل صحيح، ويجب أن يكون تشكيل شعاع الضوء جزءًا من عملية التركيب، وليس شيئًا يتم بعد الانتهاء من التركيب.
من المتوقع أن يحتاج النظام إلى فترة قصيرة لتحقيق الاستقرار، وللتأكد من توزيع الحرارة بشكل متساوٍ على الرقاقة. بمجرد تعديل الإعدادات بشكل صحيح، ستظل العملية مستقرة.