في أرضية الطباعة الحجرية
الخبز اللين والخبز الصلب ليسا مجرد خطوات حرارية—إنهما الفاصل بين دقة الأنماط الجيدة وشرائح السيليكون التي تنتهي كخردة. يظهر انحراف درجتين عبر الشريحة كاختلاف في عرض الخط. وإذا أدت خطوة الخبز إلى زيادة الجسيمات، فأنت تقوم بتلويث المسار. لقد قمنا بتطوير مجفف الأشعة تحت الحمراء المضغوط للدارات المتكاملة لإزالة هذه المتغيرات من المعادلة.
ما يهم تحت الغطاء يستخدم المجفف مصدري أشعة تحت حمراء قصيرة داخل غرفة تم تحسينها لعكس الطاقة مباشرة إلى الطلاء الضوئي، وليس إلى الحامل. عبر شريحة بقياس 300 مم، تحافظ uniformity الحرارية عند ±0.1°C، وتبقى قابلية التكرار بين الدورات ضمن ±0.2°C. تصل معدلات التسخين إلى 10°C/s، مما يتيح لك ضغط وقت الخبز دون إلحاق الضرر بالتكديس.
تم تصميمه ليكون في غرف نظيفة من الفئة 1–100: مسارات من الكوارتز والألمنيوم المؤكسد، مواد ذات انبعاث منخفض، وملف تدفق طبقي يحافظ على عدد الجسيمات ثابت. عدم توليد الجسيمات ليس شعاراً—إنه قيد تصميم، ونتحقق منه من خلال المراقبة في الموقع.
لماذا تعمل هذه التقنية في خط الدارات المتكاملة المساحة ضيقة ونوافذ العمليات ضيقة. يجعل هذا المجفف عملية خبز الطلاء الضوئي محددة، مما يtighten التحكم في الأبعاد ويقلل من إعادة العمل. المساحة صغيرة بما يكفي لتكون بجوار المسار مع الحد الأدنى من إعادة العمل، وتستقر بسرعة، مما يقلل من الوقت المعطل بين الدفعات.
لأن المصدر يصيب الحمل مباشرة والكتلة الحرارية منخفضة، ينخفض استهلاك الطاقة. تعتمد الموثوقية على وقت التشغيل: مكونات مصنفة للعمل على مدار الساعة طوال الأسبوع، وهندسة حرارية تتعامل مع الدورات المتتالية دون تجاوز.
الأشياء التي تحتاج حقًا إلى التخطيط لها المدمج لا يعني التوصيل والتشغيل. لا يزال يتعين عليك توفير نظام عادم مخصص، بالإضافة إلى هواء نظيف وجاف. ت tolerances التثبيت ضيقة—تحقق من المحاذاة عند نقل الشريحة وتأكد من أن الروبوت لديه المساحة اللازمة.
يتكامل بسلاسة مع واجهات المسار القياسية، لكن يجب عليك إجراء تأهيل محدد للموقع لتثبيت ملف الخبز لطبقة الطلاء الخاصة بك. هكذا تجعل الأرقام تلتصق في الإنتاج.