Sınıf 100 temiz oda koşullarını korumak
Eğer silikon waflerini Sınıf 100 ortamında ısıtıyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Bir tek toz parçacığı bile – aslında sadece bir mikron büyüklüğünde bile olsa – tüm ürünlerinizi işe yaramaz hale getirebilir.
Sorun şu ki, çoğu standart ısıtma elemanı kirli olur. Isındıklarında ve soğuduklarında mikroskobik parçacıklar saçılır. Bu da bir felaketin habercisidir.
Bunu çözmek için yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalar kullanıyoruz. Bunlar özellikle yarı iletken endüstrisi için tasarlanmıştır; burada “temizlik” kavramı bizim için olduğundan çok farklı bir anlama gelir.
Parçacıklarla mücadele
İnanılmaz derecede düşük saflıkta silika kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü bu sayede lamba, ısındığında metal iyonlarını dışarı salmaz veya parçalanmaz.
Bu tüpleri mühürlemeden önce, onları yoğun bir temizleme işleminden geçiriyoruz. Yüzeydeki tüm kirleri ortadan kaldırıyoruz. Böylece anahtarı açtığınızda waflerinize sadece kızılötesi radyasyon ulaşır. Başka hiçbir şey yoktur: ne parça, ne toz, ne de başka bir sorun.
Doğru ısı seviyesini sağlamak
Mesele sadece temizlik değil, aynı zamanda hassasiyet de önemlidir. Bu lambaları, düzenli kısa dalga boyunda kızılötesi ışık üretecek şekilde ayarlıyoruz. Bu sayede ısı hızlı ve eşit şekilde wafer yüzeyine ulaşır. Böylece hızlı bir ısınma gerçekleşir ve substrat üzerinde soğuk noktalar kalmaz.
Ancak bir dezavantaj var: Yüksek saflıkta kuvars oldukça hassastır. Isı şoklarına dayanabilir, ancak düşürülmesine veya çarpmasına dayanamaz.
Bir ipucu: Vakumla uyumlu montaj donanımları kullanın. Aksi takdirde, yeni kirlerin odaya girmesine neden olursunuz ve bu da tüm amacın boşa gitmesine yol açar.
Kurulum
Bu lambaları basit bir şekilde yerine takılabilir şekilde tasarladık. Muhtemelen zaten kullandığınız cihazların boyutlarına ve elektriksel özelliklerine uygundurlar. Bu sayede hafta sonunuzu güç kaynağını yeniden tasarlamakla harcamanıza gerek kalmaz.
Dikkat etmeniz gereken tek şey: Soğutma sistemini kontrol edin. Waferden gelen ısıyı karşılayabilecek kapasitede olup olmadığından emin olun. Eğer değilse, filamentler çok daha erken bozulacaktır.