Neden Yarı İletken Üretim Laboratuvarlarında Kızılötesi Isıtıcılar Kullanılır?
Yarı iletken üretim tesislerinde çalışırken “temizlik” sadece bir hedef değil, her şeydir. İşinizi bozacak tek bir toz parçacığı veya yabancı madde bile olmamalıdır. İşte bu yüzden eldiven kutularının içinde kızılötesi ısıtıcılar kullanılır. Çoğu insan ısınmayı sadece havanın ısınması olarak düşünür; ancak kızılötesi ışınlar farklıdır. Elektromanyetik radyasyon kullanılır. Sıcak hava yerine enerji doğrudan hedefe yönlendirilir. Zorunlu hava akışı yoktur, kirlilik de olmaz. Sadece temiz ısı vardır.
“Kurşunsuz” Üretimin Sağlanması
Eski tip termal fırınlar sorun yaratabilir. Genellikle gaz salınımı olur veya işi yapabilmek için kimyasal katalizörler gereklidir. Kızılötesi ısıtma ise tüm bunlardan kaçınır. Temelde, malzemenin moleküllerini titreştirir. Bir wafer’i kurutuyorsanız ya da fotoresisti sertleştiriyorsanız, ısı doğrudan malzemeye ulaşır. Enerji aktarımı çok verimli olduğundan, kurşun içeren süreçlerde sıcaklığı düşürmek için kullanılan ağır kimyasal çözücülere ihtiyaç duyulmaz. Ayrıca, ısı kaynağı üründen fiziksel olarak ayrı olduğundan, kurşunsuz üretim gereksinimlerini karşılamak çok daha kolay hale gelir.
Güç, Hız ve “Yanma” Riski
Bu elemanları seçerken genellikle dalga boyuna göre karar veririz; dalga boyu kısa mı yoksa orta mı olacak? Kısa dalga boyu daha etkilidir; daha derine ve daha hızlı nüfuz eder. Böylece sıcaklık hızla artar ve böylece işlemler çok daha hızlı tamamlanır. Bu gerçekten büyük bir avantaj. Devasa fırınların yavaşça ısınmasını beklemek yerine, saniyeler içinde işlem tamamlanır. Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Güç yoğunluğuna dikkat etmek gerekir. Eğer çok fazla gücü küçük bir alana yöneltirseniz, malzemenin kenarları yanabilir. Bunu önlemek için bu elemanları her zaman PID kontrol cihazlarıyla birlikte kullanırız. Böylece her şey dengeli kalır ve istenmeyen termal aşırılıklar önlendirilir.
Her Şeyin Uyumlu Olması
En iyi yanı ise bu elemanların eski tip dirençli ısıtıcılara alternatif olabilmesidir. Çok fazla alan tasarrufu sağlarlar. Artık yer kaplayan devasa kanallara gerek kalmaz. Eldiven kutusunun tamamını ısıtmaya çalışmadığınız için enerji maliyetleri de düşer. Tek bir ipucu: Mühürleri iyi kontrol edin. Radyant ısı oldukça güçlüdür; eğer yanlış yere isabet ederse, görüntü panelleri zarar görebilir. Bunu kontrol altına aldığınızda, işlem çok daha sorunsuz ilerler.