การรักษาสภาพห้องที่มีความสะอาดระดับ Class 100 ไว้ให้สะอาดอยู่เสมอ
หากคุณกำลังใช้ความร้อนกับแผ่นซิลิคอนในสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาดระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีว่ามันเป็นเรื่องที่น่ากังวลมาก เพียงแค่มีฝุ่นเพียงเม็ดเดียว—เพียงหนึ่งไมครอนเท่านั้น—ก็อาจทำให้ผลิตภัณฑ์ทั้งหมดของคุณเสียหายได้
ปัญหาก็คือ ตัวเครื่องกำเนิดความร้อนแบบมาตรฐานมักมีสิ่งสกปรกอยู่มากมาย โดยจะมีเศษฝุ่นขนาดเล็กหลุดออกมาทุกครั้งที่มีการใช้ความร้อนและการทำให้เย็นลง นี่คือภัยพิบัติที่อาจเกิดขึ้นได้ตลอดเวลา
เราแก้ปัญหานี้โดยการใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์บริสุทธิ์สูง หลอดไฟเหล่านี้ถูกออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่ง “ความสะอาด” ในที่นี้มีความหมายที่แตกต่างไปจากที่เราใช้กันทั่วไป
การต่อสู้กับอนุภาคสกปรก
เราใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก ทำไมล่ะ? เพราะมันจะช่วยป้องกันไม่ให้หลอดไฟมีการปล่อยไอออนโลหะหรือมีเศษฝุ่นหลุดออกมาเมื่อมีความร้อนสูงขึ้น
ก่อนที่เราจะนำหลอดไฟเหล่านี้มาใช้งาน เราจะทำการทำความสะอาดอย่างระมัดระวัง เพื่อกำจัดสิ่งสกปรกที่อาจมีอยู่บนพื้นผิวหลอดไฟให้หมด ด้วยวิธีนี้ เมื่อคุณเปิดสวิตช์ สิ่งเดียวที่จะสัมผัสกับแผ่นซิลิคอนก็คือรังสีอินฟราเรดเท่านั้น ไม่มีเศษฝุ่นหรือสิ่งสกปรกอื่นๆ เลย
การปรับความร้อนให้เหมาะสม
สิ่งสำคัญไม่ใช่แค่ความสะอาดเท่านั้น แต่ยังรวมถึงความแม่นยำด้วย เราปรับแต่งหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถสร้างรังสีอินฟราเรดในระยะสั้นได้อย่างสม่ำเสมอ รังสีนี้จะซึมเข้าสู่พื้นผิวของแผ่นซิลิคอนได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ทำให้แผ่นซิลิคอนร้อนขึ้นอย่างรวดเร็ว และไม่มีจุดที่เย็นเกินไปบนพื้นผิวแผ่นซิลิคอน
แต่ก็มีข้อจำกัดอยู่บ้าง ควอตซ์บริสุทธิ์สูงนั้นมีความเปราะบาง มันสามารถทนต่อความร้อนสูงได้ แต่ไม่สามารถทนต่อการกระแทกได้
เคล็ดลับเล็กๆ น้อยๆ ก็คือ ควรใช้อุปกรณ์ติดตั้งที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมแบบสุญญากาศ หากคุณไม่ทำเช่นนั้น ก็เท่ากับว่าคุณกำลังนำสิ่งสกปรกเข้ามาในห้องอีกครั้ง ซึ่งจะทำให้เป้าหมายของการรักษาความสะอาดล้มเหลวไปเลย
การติดตั้งหลอดไฟเหล่านี้เข้ากับอุปกรณ์ของคุณ
เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถนำมาแทนที่อุปกรณ์เดิมได้อย่างง่ายดาย โดยมีขนาดและคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่เหมาะสมกับอุปกรณ์ที่คุณใช้อยู่แล้ว ดังนั้นคุณจึงไม่จำเป็นต้องเสียเวลาไปกับการออกแบบอุปกรณ์จ่ายไฟใหม่อีก
มีอีกสิ่งหนึ่งที่ควรระวัง นั่นก็คือระบบระบายความร้อน ต้องมั่นใจว่าระบบนี้สามารถระบายความร้อนที่เกิดขึ้นจากแผ่นซิลิคอนได้ มิฉะนั้น ไส้หลอดไฟก็อาจไหม้เร็วกว่าที่ควรจะเป็นได้