Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Если вы нагреваете кремниевые пластины в условиях класса 100, вы уже знаете, с какими проблемами приходится сталкиваться. Одна-единственная частица пыли — всего лишь один микрон — может сделать весь партию продукции бесполезной.
Проблема в том, что большинство стандартных нагревательных элементов создают много микроскопических частиц в процессе нагрева и охлаждения. Это настоящая катастрофа.
Мы решаем эту проблему, используя инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они специально разработаны для использования в полупроводниковой промышленности, где понятие «чистоты» имеет совершенно другое значение, чем для остальных областей применения.
Борьба с частицами
Мы используем кварц с минимальным содержанием примесей. Почему? Потому что это предотвращает выделение металлических ионов из лампы или ее износ при повышении температуры.
Перед установкой этих ламп мы проводим их тщательную очистку. Мы удаляем все возможные загрязнители с их поверхности. Таким образом, когда вы включаете лампу, на пластину падает только инфракрасное излучение. Ничего другого — ни частиц пыли, ни других загрязнителей.
Правильная температура
Важна не только чистота, но и точность подачи тепла. Мы настраиваем лампы так, чтобы они излучали кратковолновое инфракрасное излучение. Это излучение быстро и равномерно проникает в поверхность пластины. Таким образом, происходит быстрое нагревание, а на поверхности пластины не остается холодных зон.
Но есть один нюанс: высокочистый кварц довольно хрупок. Он может выдерживать скачки температур, но не может выдерживать удары или тряску.
Еще один совет: используйте крепления, совместимые с вакуумной средой. В противном случае вы просто привлекаете новые загрязнители в помещение, что сводит на нет всю цель использования таких ламп.
Установка в оборудование
Эти лампы разработаны так, чтобы их можно было легко заменить. Их размеры и электрические характеристики соответствуют параметрам уже имеющихся у вас устройств. Так что вам не нужно тратить время на перенастройку системы питания.
Еще один момент, на который стоит обратить внимание: проверьте систему охлаждения. Убедитесь, что она способна справляться с теплом, исходящим от пластины. В противном случае филамент лампы может быстро выйти из строя.