Почему стоит прекратить использовать горячий воздух для сушки пластинок MEMS
Если вы когда-либо работали на заводе по производству MEMS-устройств, вы знаете, как это делается. После завершения процедур химической обработки или очистки необходимо устранить излишек влаги с поверхности пластинок. На большинстве старых производственных линий используется горячий воздух для этой цели. Этот метод широко применяется.
Но вот проблема: горячий воздух действует медленно. Он опирается на процесс конвекции, что означает длительное время ожидания перед тем, как пластинка высохнет. К тому же использование горячего воздуха способствует оседанию частиц там, где им не место.
Проблема времени
Подумайте о том, как на самом деле работает горячий воздух. Сначала необходимо нагреть всю камеру, прежде чем пластинка начнет высыхать. Это является расточительством времени.
Инфракрасное излучение работает иначе. Вместо нагрева всей комнаты инфракрасные лампы излучают кратковолновое излучение прямо на пластинку. Таким образом можно значительно сократить время сушки – с минут до нескольких секунд.
Когда речь идет о массовом производстве, это огромный преимущество. Вы можете обрабатывать больше пластинок в час, не нужно строить более 큰 чистые помещения или покупать дополнительное пространство.
Сложности
Нельзя просто увеличить мощность нагрева и надеяться на лучшее результат. Для достижения эффекта быстрой сушки мы используем лампы с высокой интенсивностью излучения. Но при этом необходимо быть осторожным. Если слишком много энергии будет направлено на одну точку, пластинка может деформироваться или повреждаться. Это требует точного контроля температуры. Поэтому мы всегда используем прецизионные контроллеры PID. Они помогают поддерживать стабильную температуру, чтобы избежать повреждений пластинок.
Реальные проблемы
Честно говоря, переход на использование инфракрасного излучения не так прост, как замена лампочки. Интенсивность излучения очень высока. Пока пластинка высыхает, корпус оборудования подвергается значительной нагрузке. Если не быть осторожным, можно повредить электронику. Необходимо обеспечить должную защиту от тепла или использовать активное охлаждение в корпусе лампы, чтобы избежать ее разрушения.
Тем не менее, это того стоит. Большинство производственных линий уже перешли на использование инфракрасного излучения, потому что это позволяет уменьшить турбулентность и сохранить чистоту пластинок. Это значительно ускоряет весь процесс производства.