Почему мы используем инфракрасные нагреватели в камерах для обработки полупроводниковых материалов
Когда вы работаете на производстве полупроводников, понятие «чистота» имеет решающее значение – это просто необходимое условие для успешной работы. Нельзя допустить наличия ни одной пыинки или остатков веществ, которые могут помешать процессу обработки.
Именно поэтому мы используем инфракрасные нагреватели внутри камер для обработки полупроводниковых материалов. Большинство людей считают, что нагрев заключается в повышении температуры воздуха, но инфракрасный нагрев работает иначе. Он использует электромагнитное излучение. Вместо того чтобы нагревать воздух, энергия направляется прямо на объект обработки. Таким образом исключается риск загрязнения среды обработки. Это и есть идеальный способ нагрева.
Как достичь безсвинцового процесса обработки
Старомодные тепловые печи часто создают проблемы – они могут выделять токсичные газы или требовать использования химических катализаторов для выполнения задачи. Инфракрасный нагрев избавляет от всех этих проблем. Он вызывает вибрации молекул самого материала. Будь то сушка пластины или обработка фоторезиста, тепло попадает прямо на материал.
Благодаря высокой эффективности передачи энергии не нужно использовать тяжелые химические растворители, которые раньше использовались для снижения температуры в процессах обработки с использованием свинца. К тому же, поскольку источник тепла находится отдельно от продукта обработки, выполнение требований по использованию безсвинцовых материалов становится гораздо проще.
Мощность, скорость и риск повреждения материала
Обычно мы выбираем нагреватели в зависимости от длины волны – коротковолновые или средневолновые – в зависимости от толщины материала. Коротковолновые нагреватели имеют большую мощность; они проникают глубже и быстрее. Это позволяет быстро поднять температуру, что сокращает время обработки. Это действительно удобно. Не нужно тратить энергию на медленное нагревание печи. Все готово за считанные секунды.
Но есть один нюанс: необходимо следить за плотностью мощности. Если слишком много энергии будет направлено на небольшую площадь, это может повредить края материала. Чтобы этого избежать, мы всегда используем контроллеры типа PID. Это помогает поддерживать стабильную температуру и предотвращает перегрев.
Преимущества использования инфракрасных нагревателей
Лучшее преимущество заключается в том, что эти нагреватели можно заменить на старые нагреватели. Они экономят много места. Не нужны объемные каналы для циркуляции воздуха. Поскольку не нужно нагревать всю камеру, снижается и расход энергии.
Есть еще один совет: нужно следить за уплотнениями в камере. Инфракрасное излучение очень сильное, и если оно попадет не туда, это может повредить панели для наблюдения. Если соблюдать все правила, работа будет проходить гораздо более плавно.