Waarom we infraroodverwarming gebruiken in semiconductorgloveboxes
Wanneer je in een halfgeleiderfabriek werkt, is ‘zuiverheid’ niet zomaar een doel – het is alles. Er mag geen enkel stofdeeltje of restant zijn dat je werk verstoort.
Daarom maken we gebruik van infraroodverwarmers in gloveboxes. Veel mensen denken dat verwarming betekent dat de lucht wordt opgewarmd, maar infrarood is anders. Het maakt gebruik van elektromagnetische straling. In plaats van hete lucht te blazen – wat meestal alleen maar stofdeeltjes veroorzaakt en de inertie van de omgeving verstoort – gaat de energie rechtstreeks naar het materiaal. Geen geforceerde luchtcirculatie, geen besmetting. Alleen maar zuivere warmte.
Het ‘leidvrije’ proces goed uitvoeren
Oude thermische ovens kunnen lastig zijn. Ze produceren vaak gassen of hebben chemische katalysatoren nodig om het proces te laten werken.
Infraroodverwarming vermijdt dit allemaal. Het zorgt er namelijk voor dat de moleculen van het materiaal zelf trillen. Of je nu een chip droogt of fotoresistent verhardt: de warmte bereikt het materiaal rechtstreeks.
Omdat de energieoverdracht zo efficiënt is, hoef je geen zware chemische oplosmiddelen te gebruiken om de temperatuur te verlagen. Bovendien blijft de warmtebron fysiek gescheiden van het product, waardoor het gemakkelijker is om aan de vereisten voor leidvrije producten te voldoen.
Kracht, snelheid en het risico op schade
We kiezen meestal voor zowel kortegolf- als middengolfverwarming, afhankelijk van de dikte van het materiaal. Kortegolfverwarming is zeer effectief: het dringt dieper en sneller door het materiaal heen. Hierdoor kan de temperatuur snel stijgen, waardoor de verwerkingstijd flink wordt verkort. Dat is natuurlijk prettig. Je hoeft geen tijd te verspillen terwijl de oven zich langzaam opwarmt. Het is in seconden klaar.
Maar wees voorzichtig met de energiedichtheid. Als je te veel wattage in een klein gebied plaatst, kan dit schade toebrengen aan de randen van het materiaal. Om dit te voorkomen, gebruiken we altijd PID-regelaars. Dit zorgt ervoor dat alles stabiel blijft en dat er geen oververhitting optreedt.
Het allemaal combineren
Het goede nieuws is dat deze elementen gemakkelijk kunnen worden gebruikt als vervanging voor de oude resistieve verwarmers. Ze besparen veel ruimte. Er zijn geen grote leidingen meer nodig. Omdat je niet het hele volume van de glovebox hoeft op te warmen, daalt ook je energieverbruik.
Eén tip: houd de sluitingen in de gaten. Infraroodstraling is erg krachtig; als deze op de verkeerde plek terechtkomt, kunnen de beeldschermen beschadigen. Zodra je dit in de hand hebt, is het een veel efficiëntere manier van werken.