Mengekalkan Kebersihan Bilik Kering Kelas 100
Jika anda memanaskan wafer silikon dalam persekitaran Kelas 100, anda pasti tahu betapa seriusnya masalah yang boleh berlaku. Sebuah zarah debu yang sangat kecil—sama ada satu mikron saja—boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan.
Masalahnya ialah kebanyakan elemen pemanasan biasa menghasilkan serpihan halus setiap kali ia dipanaskan dan disejukkan. Ini merupakan bencana yang boleh berlaku pada bila-bila masa.
Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan lampu IR yang diperbuat daripada kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Lampu-lampu ini direka khusus untuk digunakan dalam industri semikonduktor, di mana konsep “kebersihan” mempunyai makna yang berbeza sama sekali berbanding dengan kegunaannya di tempat lain.
Melawan zarah-zarah halus
Kami menggunakan kuarsa yang mempunyai kadar kekotoran yang sangat rendah. Mengapa? Kerana ia dapat mencegah ion logam daripada keluar dari lampu tersebut, serta mencegah serpihan halus daripada terbentuk ketika lampu dipanaskan.
Sebelum lampu-lampu ini disegel, ia akan melalui proses pembersihan yang teliti. Semua kotoran pada permukaannya akan dibersihkan sepenuhnya. Dengan cara ini, apabila lampu dihidupkan, hanya sinar inframerah sahaja yang akan sampai ke permukaan wafer. Tiada serpihan atau debu yang akan mengganggu proses pemanasan.
Mendapatkan suhu yang tepat
Bukan sekadar kebersihan yang penting, tetapi juga ketepatan suhu. Kami menyesuaikan lampu-lampu ini agar dapat menghasilkan sinar inframerah yang konsisten. Sinar ini akan meresap ke dalam permukaan wafer dengan cepat dan secara merata. Dengan cara ini, wafer akan dipanaskan dengan cepat, tanpa adanya kawasan yang sejuk pada permukaannya.
Namun, ada satu perkara yang perlu diperhatikan: kuarsa berkualiti tinggi ini agak rapuh. Ia boleh bertahan terhadap suhu yang tinggi, tetapi tidak tahan terhadap hentakan atau benturan.
Satu lagi tip: gunakan peralatan pemasangan yang sesuai untuk digunakan dalam suasana vakum. Jika tidak, anda akan membiarkan kotoran masuk semula ke dalam bilik kering, dan ini akan merosakkan keseluruhan sistem tersebut.
Memasang lampu-lampu ini ke dalam sistem anda
Lampu-lampu ini direka supaya mudah dipasang. Ia sesuai dengan spesifikasi elektrik dan ukuran alat-alat yang sudah digunakan oleh anda. Jadi, anda tidak perlu menghabiskan masa hujung minggu untuk mereka bentuk semula sistem bekalan tenaga.
Satu perkara yang perlu diperhatikan: pastikan sistem penyejukan anda mampu menangani haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Jika tidak, filamen lampu akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya.