TEL (도쿄일렉트론) 히터 램프

제조 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.2°C만큼의 온도 변동이 있어도, 그 사실을 알아차리기도 전에 전체 생산된 제품이 폐기물이 될 수 있습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 가열 과정이 아니라, 전체 패터닝 공정을 제어하는 핵심 요소입니다....