웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

고부하 상태에서의 웨이퍼 가열 시 발생하는 램프 고장 문제 해결하기 웨이퍼 가열 시스템을 최대한 활용하려 할 때는 위험이 따릅니다. 특히 석영 램프는 파손될 수 있습니다. 솔직히 말해서, 램프가 파손되면 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동시간만 줄어드는 것이 아니라, 유...