클래스 100 청정실을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 환경에서 실리콘 웨이퍼를 가열한다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 단 하나의 미세한 먼지 입자만 있어도 전체 제품군이 폐기되고 맙니다.
문제는 대부분의 일반적인 가열 요소들이 불순물을 많이 포함하고 있다는 점입니다. 이러한 가열 요소들은 가열되고 식을 때마다 미세한 파편들을 생성합니다. 이는 재앙을 부를 수 있는 상황입니다.
우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다. 이 램프들은 반도체 산업에 특화되어 만들어졌으며, 여기서 ‘깨끗함’이란 우리가 생각하는 것과는 전혀 다른 의미를 가집니다.
입자와의 싸움
우리는 불순물이 거의 없는 융합 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이렇게 하면 램프가 열을 받을 때 금속 이온이나 파편이 빠져나오는 것을 방지할 수 있기 때문입니다.
이러한 램프들을 밀폐하기 전에, 우리는 엄격한 세척 과정을 거칩니다. 모든 종류의 표면 오염 물질을 제거합니다. 그렇게 하면 스위치를 켰을 때 웨이퍼에 닿는 것은 오직 적외선뿐입니다. 다른 것은 아무것도 없습니다. 파편도, 먼지도, 예상치 못한 문제도 없습니다.
적절한 열량 조절
중요한 것은 단순히 깨끗한 상태를 유지하는 것뿐만 아니라, 정확한 열량 조절도 필요합니다. 우리는 이 램프들을 조정하여 일관된 단파 적외선을 발생시킵니다. 이렇게 하면 웨이퍼 표면에 열이 빠르고 고르게 전달됩니다. 따라서 웨이퍼에는 차가운 부분이 생기지 않습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 고순도 석영은 다소 섬세하기 때문에, 열충격은 견딜 수 있지만, 떨어뜨리거나 충격을 받으면 안 됩니다.
또 한 가지 팁: 진공 환경에 적합한 마운팅 하드웨어를 사용하세요. 그렇지 않으면 새로운 오염 물질이 청정실 내로 들어올 수 있으며, 이는 모든 노력을 무용지물로 만듭니다.
장비에 설치하기
우리는 이 램프들을 간단하게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 이 램프들은 이미 사용 중인 장비의 크기와 전기 사양에 맞으므로, 별도로 전원 공급 장치를 다시 설계할 필요가 없습니다.
단, 주의해야 할 점이 있습니다. 냉각 시스템을 확인해보세요. 웨이퍼에서 반사되는 열을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 필라멘트가 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다.