半導体ヒーター用熱電対

半導体製造用の装置で熱を無駄にしないために 通常の加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が放射されるのです。半導体製造炉の中では、これは大変な問題です。 その熱がウェーハではなく内壁に当たってしまうと、「過熱した内壁」ができてしまいます。これは二重の悪...