なぜ半導体製造ラインで赤外線ヒーターを使用するのか？ 半導体工場で作業を行う際、「清潔さ」は単なる目標ではなく、何よりも重要な要素です。ほんのわずかなほこりや汚れでも、作業を台無しにしてしまいます。 そのため、私たちはグローブボックス内で赤外線ヒーターを利用しているのです。一般的に、加熱というと空気を温めることを意味しますが、赤外線は異なります。電磁波を利用するため、熱風を送り込む必要がなく、結果として粒子が舞い上がったり、不活性な雰囲気が乱れたりすることもありません。純粋な熱だけが得られます。
「鉛フリー」要件を確実に満たす
従来の熱処理用オーブンは面倒なことが多いです。ガスが発生したり、化学触媒が必要になったりします。 しかし、赤外線加熱ではそうした問題はありません。基板自体の分子を振動させるだけです。ウェーハを乾燥させるにしても、フォトレジストを硬化させるにしても、熱は直接材料に作用します。 エネルギー伝達が非常に効率的なため、かつて鉛含有プロセスで温度を下げるために使われていた重い化学溶剤を使う必要がありません。また、熱源が製品から物理的に離れているため、鉛フリーの要件を満たしやすくなります。
力、速度、そして「焼損」のリスク
通常、これらの要素は波長に基づいて選ばれます。材料の厚さに応じて、短波または中波を選びます。 短波は強力で、より深く、より速く浸透します。そのため、温度上昇が迅速に行われ、サイクルタイムが大幅に短縮されます。正直、これは大変便利です。巨大なオーブンがゆっくり温まる間、無駄にエネルギーを消費することもありません。数秒で準備できます。 ただし、注意点があります。出力密度に注意しなければなりません。小さな領域に多すぎるワット数を集中させると、基板の端が焼けてしまいます。これを防ぐために、常にPIDコントローラーを併用します。これにより、状態を安定させ、望ましくない過熱を防ぐことができます。
すべてをうまく組み合わせる
最も良い点は、これらの要素が、古くて使いにくい抵抗式ヒーターの代替品として使えることです。 スペースを大幅に節約できます。もう、部屋を占領する大型のダクトの心配もありません。グローブボックス全体を加熱する必要がないため、エネルギーコストも削減できます。 一つだけアドバイス：シール部分にも注意してください。赤外線は強力なため、間違った場所に当たると、視認パネルが歪んでしまう可能性があります。これをしっかり管理すれば、ずっと快適に作業できます。