La maggior parte dei elementi di riscaldamento standard emette calore in tutte le direzioni. In un ambiente ridotto come quello utilizzato per la produzione di semiconduttori, questo rappresenta un problema serio. Il calore in eccesso finisce per accumularsi alle pareti dell’equipaggiamento. Quando il telaio interno diventa troppo caldo da toccare, non si tratta soltanto di problemi legati alla stabilità termica: si parla anche di violazioni delle norme di sicurezza.
Per risolvere questo problema, utilizziamo lampade ad infrarossi ad alta intensità, abbinate a gusci realizzati in acciaio inox su misura.
Portare il calore esattamente dove è necessario
Il riscaldamento mirato non dipende soltanto dalla lampada stessa, ma anche dal riflettore e dal guscio che la circonda. Utilizziamo acciaio inox o alluminio lucidato per far riflettere le onde infrarosse direttamente sullo strato di silicio o sul substrato su cui viene effettuata la lavorazione.
Proteggendo i lati e la parte posteriore del guscio, evitiamo che il calore si diffonda nel telaio della macchina. Il risultato? Le pareti esterne rimangono fresche, mentre il calore viene trasferito esattamente dove desideriamo.
I dettagli riguardanti i materiali
Utilizziamo sempre l’acciaio inox per i gusci, poiché è in grado di resistere a condizioni ambientali difficili, specialmente in presenza di sostanze chimiche aggressive. Non si deforma nemmeno sotto alte temperature, come quelle presenti nei processi di produzione di semiconduttori.
Ma il vero segreto sta nella geometria del guscio: deve contenere perfettamente la lampada. Se il riflettore è fuori posizione anche di pochi millimetri, si creano zone troppo calde sulla superficie su cui viene effettuata la lavorazione, il che rappresenta un problema.
Alcuni punti da tenere a mente
Questi gusci richiedono più spazio: non possono essere semplicemente inseriti in uno spazio destinato a un elemento di riscaldamento tradizionale. È necessario prevedere lo spazio necessario per il riflettore e lasciare uno spazio vuoto tra il guscio e il telaio, in modo che il calore non si diffonda.
Un altro consiglio utile: utilizzare cavi resistenti alle alte temperature. Anche se il guscio protegge il telaio, la testa della lampada rimane comunque molto calda.
Inoltre, non dimenticate di pensare alla ventilazione: se bloccate il flusso d’aria, la vita utile della lampada diminuirà. Lasciate che l’aria circoli liberamente, così la lampada potrà funzionare a lungo.