Mempertahankan Kebersihan Ruang Kerja Kelas 100
Jika Anda memanaskan wafer silikon di lingkungan kelas 100, Anda pasti tahu betapa berbahayanya hal tersebut. Sebuah partikel debu sekecil satu mikron saja sudah cukup untuk merusak seluruh wafer yang diproses.
Masalahnya adalah, sebagian besar elemen pemanas standar menghasilkan debu mikroskopis setiap kali dipanaskan atau didinginkan. Ini merupakan bencana yang siap terjadi.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Lampu-lampu ini dirancang khusus untuk digunakan dalam industri semikonduktor, di mana konsep “kebersihan” memiliki arti yang sangat berbeda dibandingkan dengan dunia lainnya.
Menghadapi partikel-partikel kecil
Kami menggunakan kuarsa yang memiliki kandungan kontaminan yang sangat rendah. Mengapa? Karena hal ini dapat mencegah lampu tersebut melepaskan ion logam atau debris saat dipanaskan.
Sebelum lampu-lampu ini disegel, kami melalui proses pembersihan yang ketat. Kami membersihkan setiap kontaminan yang ada di permukaannya. Dengan begitu, ketika lampu dinyalakan, satu-satunya hal yang mempengaruhi wafer hanyalah radiasi inframerah. Tidak ada debris atau debu sama sekali.
Mencapai suhu yang tepat
Yang penting bukan hanya kebersihan, tetapi juga ketepatan suhu. Kami menyetel lampu-lampu ini agar menghasilkan radiasi inframerah yang seragam. Radiasi ini akan masuk ke permukaan wafer dengan cepat dan merata. Dengan demikian, wafer akan cepat panas, dan tidak akan ada bagian yang masih dingin.
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan: kuarsa berkualitas tinggi ini cukup rapuh. Meskipun ia bisa bertahan terhadap paparan panas, ia tidak tahan terhadap benturan.
Tipsnya: gunakan perangkat pengikat yang kompatibel dengan kondisi vakum. Jika tidak, Anda hanya akan membiarkan kontaminan baru masuk ke dalam ruang kerja Anda, sehingga tujuan utama menjadi sia-sia.
Memasangnya ke dalam sistem Anda
Lampu-lampu ini dirancang agar mudah dipasang. Ukuran dan spesifikasi listriknya sesuai dengan alat-alat yang sudah Anda gunakan, sehingga Anda tidak perlu menghabiskan waktu untuk merancang ulang sistem pasokan daya.
Satu hal lagi yang perlu diperhatikan: periksa sistem pendinginan Anda. Pastikan sistem tersebut mampu menangani panas yang dihasilkan oleh wafer. Jika tidak, filamen lampu akan cepat rusak.