Mengapa Anda harus berhenti menggunakan udara panas untuk mengeringkan wafer MEMS
Jika Anda pernah bekerja di pabrik MEMS, Anda pasti tahu prosesnya. Setelah proses etching atau pembersihan selesai, langkah selanjutnya adalah menghilangkan kelembapan dari wafer tersebut. Di pabrik-pabrik lama, orang-orang biasanya menggunakan udara panas untuk mengeringkan wafer. Hal ini sering terjadi di mana-mana.
Tapi masalahnya adalah, udara panas memiliki efektivitas yang rendah. Proses pengeringan membutuhkan waktu yang lama karena bergantung pada konveksi udara. Selain itu, penggunaan udara panas justru membuat partikel-partikel kotor menempel di tempat yang seharusnya tidak ada partikel tersebut.
Masalah waktu
Coba pikirkan bagaimana cara kerja udara panas. Anda perlu memanaskan seluruh ruangan sebelum wafer mulai kering. Ini merupakan pemborosan waktu.
Berbeda dengan sinar inframerah (IR). Alih-alih memanaskan ruangan, lampu IR mengirimkan radiasi gelombang pendek langsung ke wafer. Dengan cara ini, waktu pengeringan bisa dikurangi dari menit-menit menjadi beberapa detik saja.
Ketika Anda bekerja dalam skala besar, hal ini sangat membantu. Anda dapat memproduksi lebih banyak wafer per jam, tanpa perlu membangun ruang pembersihan yang lebih besar atau menyediakan ruang yang lebih luas.
Bagian yang rumit
Anda tidak bisa sekadar menaikkan suhu dan berharap semuanya akan berjalan lancar. Kami menggunakan lampu kuarsa berintensitas tinggi agar wafer bisa kering dengan cepat. Namun, Anda harus berhati-hati. Jika Anda menggunakan daya yang terlalu tinggi di area yang sempit, wafer bisa rusak atau membran MEMSnya bisa pecah. Ini membutuhkan keseimbangan yang tepat. Itulah mengapa kami selalu menggunakan kontroler PID yang presisi. Kontroler ini membantu menjaga suhu tetap stabil, sehingga wafer tidak rusak.
Masalah di dunia nyata
Sejujurnya, beralih ke teknologi IR tidaklah semudah mengganti bola lampu biasa. Energi radiasi yang dihasilkan sangat intens. Sementara wafer kering dengan cepat, bagian perangkat yang digunakan untuk proses pengeringan juga akan rusak. Jika Anda tidak berhati-hati, perangkat elektronik tersebut bisa rusak. Anda perlu merancang sistem pelindung panas yang baik, atau menggunakan sistem pendinginan aktif di dalam lampu tersebut agar perangkat tidak rusak.
Namun, usaha ini sepadan. Kebanyakan pabrik pengolahan MEMS sudah beralih ke teknologi IR, karena teknologi ini mampu menghilangkan turbulensi udara dan menjaga wafer tetap bersih. Dengan demikian, proses produksi menjadi lebih cepat.