सेमीकंडक्टर ग्लोवबॉक्स में आईआर हीटिंग का उपयोग क्यों किया जाता है?
जब आप सेमीकंडक्टर फैक्ट्री में काम करते हैं, तो “स्वच्छता” केवल एक लक्ष्य ही नहीं, बल्कि यही सब कुछ है। वहाँ धूल के कण या कोई अन्य अशुद्धि मौजूद होना ही नहीं चाहिए।
इसीलिए हम ग्लोवबॉक्स में इन्फ्रारेड (IR) हीटरों का उपयोग करते हैं। अधिकांश लोग हीटिंग को हवा को गर्म करने की प्रक्रिया ही मानते हैं, लेकिन आईआर हीटर अलग ही है। यह विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करता है। गर्म हवा के बजाय, ऊर्जा सीधे ही सामग्री तक पहुँचती है। ऐसे में कोई प्रदूषण नहीं होता… बस स्वच्छ ऊष्मा ही प्राप्त होती है।
“लीड-फ्री” प्रक्रियाओं में आईआर हीटिंग का उपयोग
पुराने थर्मल ओवनों का उपयोग करना कठिन होता है… इनमें गैसें निकलती रहती हैं, या तापमान बढ़ाने हेतु रासायनिक उत्प्रेरकों की आवश्यकता होती है।
आईआर हीटिंग में ऐसी समस्याएँ नहीं हैं… यह सीधे ही सामग्री के अणुओं को कंपित करता है। चाहे आप वेफरों को सुखा रहे हों, या फोटोरेसिस्ट को सूखा रहे हों… ऊष्मा सीधे ही सामग्री तक पहुँचती है।
चूँकि ऊर्जा स्थानांतरण बहुत ही कुशल है, इसलिए आपको उन भारी रासायनिक घोलों की आवश्यकता ही नहीं है… जिनका उपयोग पहले लीड युक्त प्रक्रियाओं में तापमान को कम करने हेतु किया जाता था। इसके अलावा, चूँकि ऊष्मा स्रोत सामग्री से अलग ही रहता है, इसलिए “लीड-फ्री” प्रक्रियाओं को लागू करना आसान हो जाता है।
ऊर्जा, गति, एवं “जलने” का जोखिम
हम आमतौर पर तरंगदैर्घ्य के आधार पर ही ऐसे उपकरणों का चयन करते हैं… चाहे वह शॉर्टवेव हो या मीडियमवेव… यह सामग्री की मोटाई पर निर्भर है।
शॉर्टवेव ऊर्जा गहराई तक जाती है… इससे तापमान तेजी से बढ़ता है… इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है… यह वाकई बहुत ही अच्छा है… आपको बेकार में ऊर्जा बर्बाद करने की आवश्यकता ही नहीं है… यह कुछ ही सेकंड में तैयार हो जाता है।
लेकिन ध्यान रखने योग्य बात यह है कि ऊर्जा घनत्व पर ध्यान देना आवश्यक है… अगर बहुत अधिक ऊर्जा किसी छोटे क्षेत्र में डाली जाए, तो सामग्री के किनारे जल सकते हैं… इसे रोकने हेतु हम हमेशा PID कंट्रोलरों का उपयोग करते हैं… यह सब कुछ स्थिर रखता है… एवं ऊष्मा संबंधी समस्याओं से बचाता है।
सब कुछ एक साथ…
सबसे अच्छी बात यह है कि ये उपकरण पुराने रेजिस्टिव हीटरों का ही विकल्प हैं… ये बहुत ही स्थान बचाते हैं… अब बड़े-बड़े डक्टों की आवश्यकता ही नहीं है… चूँकि आपको पूरे ग्लोवबॉक्स को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है, इसलिए आपके ऊर्जा खर्च में भी कमी आ जाती है।
बस एक सलाह… अपने सीलों पर ध्यान दें… विकिरण ऊर्जा बहुत ही शक्तिशाली है… अगर यह गलत जगह पर पड़े, तो आपके व्यू पैनल खराब हो सकते हैं… अगर आप इस पर ध्यान दें, तो काम करना बहुत ही आसान हो जाएगा।