Manteniendo su sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si calienta obleas de silicio en un entorno de clase 100, seguramente ya conoce los problemas que esto conlleva. Una sola partícula de polvo, literalmente un solo micrómetro, puede arruinar todo el lote.
El problema es que la mayoría de los elementos calefaccionales convencionales generan mucho desecho microscópico cada vez que se calientan y se enfrían. Es como tener una catástrofe esperando ocurrir.
Nosotros resolvemos este problema utilizando lámparas de cuarzo sintético de alta pureza. Están diseñadas específicamente para el sector de semiconductores, donde “limpio” significa algo completamente diferente a lo que significa para el resto de nosotros.
La lucha contra las partículas
Utilizamos sílice fundida con un nivel de impurezas extremadamente bajo. ¿Por qué? Porque así se evita que la lámpara libere iones metálicos o que se agriete cuando se calienta.
Antes de sellar estas lámparas, las sometemos a un proceso de limpieza exhaustivo. Eliminamos cualquier tipo de contaminante en su superficie. De esta manera, cuando se encienda la lámpara, lo único que llegará a la oblea será radiación infrarroja. Nada más. Ni fragmentos, ni polvo, ni sorpresas.
Obtener la temperatura adecuada
No se trata solo de mantener la sala limpia, sino también de lograr una precisión extrema. Ajustamos estas lámparas para que emitan radiación infrarroja de onda corta de forma consistente. La radiación penetra rápidamente y uniformemente en la superficie de la oblea. Así, se logra un calentamiento rápido y un perfil térmico uniforme, sin puntos fríos en el sustrato.
Un detalle importante
El cuarzo de alta pureza es algo delicado. Puede soportar los cambios de temperatura, pero no puede soportar golpes o caídas.
Un consejo rápido: utilice hardware de montaje compatible con el vacío. De lo contrario, estará invitando nuevas fuentes de contaminación a su sala, lo cual anula todo el propósito de mantenerla limpia.
Instalación en su sistema
Hemos diseñado estas lámparas para que sean reemplazos sencillos. Se adaptan perfectamente a los requisitos eléctricos y dimensionales de los dispositivos que ya está utilizando. Así, no tendrá que pasar su fin de semana rediseñando el sistema de alimentación eléctrica.
Una cosa más a tener en cuenta
Verifique su sistema de refrigeración. Asegúrese de que pueda manejar el calor emitido por la oblea. De lo contrario, el filamento se quemará mucho antes de lo esperado.