Mantener las salas limpias de clase 100 realmente limpias
Cuando se opera una sala limpia de clase 100, uno está luchando constantemente contra lo invisible. Un solo micrómetro de polvo, algo que ni siquiera se puede ver, es suficiente para arruinar todo un lote de obleas. Es frustrante. Y, por lo general, el culpable es algo que uno no esperaría: los elementos calefactores.
Si las lámparas emiten gases o partículas diminutas, en realidad se está invitando la contaminación al proceso de producción. Por eso utilizamos cuarzo sintético de alta pureza para nuestras lámparas de infrarrojos.
¿Por qué importa el material?
La mayoría de los materiales de vidrio o cuarzo barato no pueden soportar el calor. Comienzan a descomponerse o a desprenderse bajo cargas térmicas elevadas. Eso no es bueno.
Utilizamos cuarzo sintético porque es resistente. No sufre corrosión química ni se descompone. También nos aseguramos de que la cubierta de cuarzo esté bien sellada. Esto evita que aparezcan poros microscópicos donde pueda esconderse suciedad, de modo que la superficie de las obleas permanezca limpia durante el procesamiento térmico rápido.
Ajustar la temperatura adecuadamente
Las herramientas para trabajar con obleas son muy delicadas en cuanto a la velocidad con la que se calientan. Para lograrlo, ajustamos el diámetro del filamento y la tensión eléctrica para obtener un perfil térmico uniforme en toda la superficie de la oblea.
El truco es que las ondas infrarrojas de corta longitud llegan a la superficie de la oblea mucho más rápido que las de larga longitud. Esto permite obtener un perfil térmico más uniforme en toda la superficie de la oblea.
Pero hay que tener cuidado con la potencia. Estas lámparas generan mucho calor. Si se intenta alcanzar una temperatura específica elevando demasiado la tensión, se acelera la destrucción de los filamentos. Se trata de encontrar un equilibrio entre la potencia y la capacidad de enfriamiento de la lámpara, para evitar dañar sus componentes.
Reemplazarlas sin problemas
Hemos diseñado estas lámparas para que puedan reemplazarse fácilmente. No hay complicaciones. Los conectores están diseñados para evitar que la fricción genere polvo; después de todo, lo último que se quiere durante el reemplazo es que haya más partículas en el aire.
El ajuste debe ser perfecto. Si la lámpara está incluso ligeramente desalineada, el haz de infrarrojos no alcanzará su objetivo y habrá puntos calientes en la oblea. Mantenemos tolerancias estrictas para que la lámpara quede en el lugar exacto donde deben estar sus componentes ópticos.
Una última cosa: pida a sus técnicos que tengan cuidado. Solo utilicen paños sin pelusas y alcohol isopropílico. Una sola huella dactilar sobre el cuarzo se grabará a altas temperaturas, dejando una mancha permanente que afectará la distribución del calor. Es difícil de arreglar, así que es mejor evitarlo.