Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Lampen wirklich wichtig sind
Wenn Sie mit Halbleiterwafern arbeiten, wissen Sie, dass jeder Watt zählt. Das Problem bei herkömmlichen Quarzlampen ist jedoch, dass sie Wärme in alle Richtungen abgeben. Die Hälfte der teuren Energie wird einfach dazu verwendet, den Gehäusekörper zu erhitzen – anstatt das Substrat. Das ist eine Verschwendung.
Deshalb verwenden wir eine hochreine Goldbeschichtung auf der Rückseite der Lampe.
Warum Gold?
Es geht nicht darum, etwas Edles zu haben. Gold ist einfach hervorragend darin, Infrarotlicht zu reflektieren. Andere Materialien wie Silber oder Aluminium neigen dazu, bei hohen Temperaturen zu zerkratzen oder zu oxidieren. Gold hingegen bleibt stabil. Es leitet die Wärme von hinten nach vorne – direkt auf die Wafer.
Das Beste daran: Der Wärmefluss nimmt stark zu – ohne dass man mehr Leistung aus dem Stromnetz ziehen muss.
Aber es gibt einen Haken: Da wir mehr Energie nach vorne leiten, werden auch die Elektroden von der Wärme beeinträchtigt. Wenn Sie die Lampen bei maximaler Leistung betreiben, müssen Sie sicherstellen, dass die Kühlsysteme damit umgehen können. Andernfalls können die Glühfäden beschädigt werden oder die Dichtungen versagen. Es handelt sich dabei um ein Kompromiss, aber einer, der bewältigt werden kann.
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie als Ersatzteil verwendet werden können. Sie müssen Ihren gesamten Behälter nicht neu bauen. Sie können die Lampen einfach austauschen, um die Heizzone zu verkleinern und gleichzeitig eine gleichmäßige Temperatur auf der Wafer zu gewährleisten.
Je nach Ihren Anforderungen können Sie diese Lampen nutzen, um die Bearbeitungszeiten zu verkürzen. Oder, wenn Sie eher an der Wartung interessiert sind, können Sie einfach die Betriebsspannung senken, sodass die Lampen länger halten.
Ein letzter Tipp: Halten Sie die Reflektoren sauber.
Es klingt einfach, aber eine dünne Schicht Staub auf dem Gehäuse kann die Vorteile der Goldbeschichtung zunichte machen. Halten Sie die Optiken sauber – dann gelangt die Energie genau dorthin, wo sie hingehört: auf die Wafer.