Wie man die Heizgeräte für Halbleiterteile sicher hält
In einem Reinraum ist ein einziger elektrischer Leckstrom kein kleines Problem – es handelt sich dabei um eine Katastrophe. Schon eine winzige Funke oder ein kleiner Stromleck kann dazu führen, dass ganze Chargen von Halbleiterwafern innerhalb weniger Sekunden zerstört werden. Deshalb bauen wir diese Heizgeräte so, dass die gewünschten Temperaturprofile erhalten bleiben – und dass absolut kein Stromleck ins Gehäuse entsteht.
Warum wir jedes Gerät testen
Wir führen keine „Stichprobenkontrollen“ durch. Das ist zu riskant. Jedes Heizelement, das unser Werk verlässt, wird einer vollständigen Prüfung auf Dämpfungsfähigkeit sowie Isolationswiderstand unterzogen. Wir bringen die Isolierung praktisch bis an ihre Belastungsgrenze. Wir suchen nach winzigen Defekten – mikroskopischen Rissen oder Verschmutzungen in der Keramikbeschichtung, die mit bloßem Auge nicht sichtbar sind. Wenn ein Heizelement den Prüfspannung nicht standhält, landet es im Müll.
Es ist besser für uns, ein solches Gerät ausschließen zu lassen, als dass Sie mit einem „stillen Versagen“ konfrontiert werden – bei dem alles normal aussieht, bis plötzlich etwas schiefgeht, sobald das Gerät im Reinraum verwendet wird.
Details zu den Materialien
Wir verwenden hochreine Isolierstoffe, denn wir wissen, dass Ausgasungen und Partikelablagerungen in einem Reinraum ein großes Problem darstellen. Die Heizelemente sind außerdem in Hüllen eingebettet, sodass sie den ständigen Temperaturschwankungen standhalten können.
Ein Hinweis: Achten Sie auf die Stromversorgung. Der Strom darf genau zur Widerstandskraft des Heizeelements passen. Wenn die Spannungen nicht übereinstimmen, funktioniert das Heizeelement entweder kaum oder es brennt viel zu schnell aus.
Ein paar Tipps für den Einsatz
Diese Heizgeräte eignen sich hervorragend dafür, eine präzise Temperaturkontrolle auf speziellen Transportwagen zu gewährleisten. Allerdings haben sie auch eine Schwachstelle: Da die Isolierung sehr dicht ist, können die Geräte empfindlich auf mechanische Einflüsse reagieren.
Falls ein Heizelement herunterfällt oder die Befestigungsbrackets zu stark angezogen werden, kann die Isolierschicht beschädigt werden. Verwenden Sie daher bei der Montage Werkzeuge mit Drehmomentbegrenzung. So vermeiden Sie später Probleme mit defekten Geräten.
Und noch ein Hinweis: Vergessen Sie nicht, den Transportwagen ordnungsgemäß zu erden. Die Isolierung des Heizelements stellt zwar die erste Verteidigungslinie dar, doch der Boden ist es, der wirklich dafür sorgt, dass alles sicher bleibt.