Udržení čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou Pokud zahříváte křemíkové destičky v prostředí třídy 100, jistě znáte ten noční můru – jediný drobný...

Proč byste měli přestat foukat horký vzduch na své MEMS desky Pokud jste někdy strávili čas v továrně na výrobu MEMS desek, znáte ten postup....

Udržování čistých prostor třídy 100 opravdu čistými Když provozujete čistou místnost třídy 100, bojujete neustále proti něčemu neviditelnému. Jeden...

Proč zlato-pokryté reflektory skutečně záleží při vysoušení destiček Při vysoušení destiček v podstatě řídíte velmi úzký energetický rozpočet....

Proč přecházíme na zahřívání pomocí infračerveného záření Svět polovodičů se konečně odchyluje od těch starých konvekčních pecí. Dává to smysl –...

Řešení problémů s poruchami lamp při ohřevu destiček ve vysokém zatížení Když tlačíte systémy na ohřev destiček až na hranici jejich kapacit, situace...

Na lince není sušení waferů jen další krok. Je to poslední tepelná kontrola před tím, než uzamknete výnos. Studené místo během IR sušení se projeví...

Na lithografické lince mění i posun o jeden stupeň při měkkém vypálení tloušťku fotoresistu mimo specifikace. Nerovnoměrnost tvrdého vypálení? To...