Udržení čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou
Pokud zahříváte křemíkové destičky v prostředí třídy 100, jistě znáte ten noční můru – jediný drobný částečka prachu, doslova jeden mikron, a celá vaše zásilka se stane odpadkem.
Problém je v tom, že většina běžných zahřívacích prvků je špinavá. Při zahřívání a ochlazování uvolňují mikroskopické nečistoty. Je to katastrofa, která čeká na svou příležitost.
My to řešíme pomocí syntetických kvartových lamp s vysokou čistotou. Jsou navrženy speciálně pro polovodičový průmysl, kde „čistota“ znamená něco úplně jiného než pro ostatní.
Boj proti částicím
Používáme sklo s extrémně nízkým obsahem nečistot. Proč? Protože to zabrání uvolňování kovových iontů nebo odchlupování materiálu při zahřívání.
Než tyto trubice uzavřeme, podrobíme je důkladnému čištění. Odstraníme všechny možné povrchové nečistoty. Takže když zapnete světlo, jediné, co dopadne na vaši destičku, je infračervené záření. Nic jiného – žádné odchlupování, žádný prach, žádné překvapení.
Správné nastavení teploty
Není důležité pouze to, aby bylo prostředí čisté, ale také to, aby byla teplota přesná. Tyto lampy jsou laděny tak, aby vydávaly konzistentní krátkovlnné infračervené záření. To rychle a rovnoměrně proniká do povrchu destičky. Díky tomu dochází k rychlému zahřátí a tepelný profil nezanechává žádná studená místa na substrátu.
Je tu však jedna výhrada – vysokocistotní kvart je trochu křehký. Dokáže snést teplotní šoky, ale nevydrží pády nebo nárazy.
Rychlý tip: používejte montážní prvky kompatibilní s vakuumem. Pokud to neuděláte, přivoláte zpět nové nečistoty do své místnosti, což zmaří veškerý smysl toho všeho.
Instalace do vašeho zařízení
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby se daly jednoduše nahradit. Jejich rozměry a elektrické parametry odpovídají těm, které pravděpodobně již používáte, takže nemusíte trávit víkend přepracováváním napájecí sítě.
Jediná věc, na kterou si musíte dát pozor: zkontrolujte svůj chladicí systém. Ujistěte se, že dokáže zvládnout teplo vycházející z destičky. Pokud ne, vlákno lampy se spálí mnohem dříve, než by mělo.