Proč používáme infračervená zahřívací zařízení v rukavicových komorách pro polovodiče
Když pracujete v továrně na výrobu polovodičů, „čistota“ není jen cílem – je to všechno. Nesmí tam být ani jediný prachový částic nebo nechtěný zbytek, který by zkazil váš práci. Proto v rukavicových komorách využíváme infračervená zahřívací zařízení. Většina lidí si představuje zahřívání jako ohřev vzduchu, ale infračervené záření je jiné. Využívá elektromagnetické záření. Místo foukání horkého vzduchu – což obvykle jen zvyšuje množství částic a ničí inertní atmosféru – energie působí přímo na cíl. Žádné systémy s nuceným prouděním vzduchu, žádné kontaminace. Jen čisté teplo.
Správné dosažení „bezolovnatého“ stavu
Staromódní tepelné pece mohou být problémové. Často uvolňují plyny nebo vyžadují chemické katalyzátory k dosažení požadovaného efektu. Infračervené zahřívání se tomu vyhýbá. V podstatě vibruje molekuly samotného materiálu. Ať už sušíte čip nebo vytvrzujete fotorezistor, teplo působí přímo na materiál. Jelikož je přenos energie velmi efektivní, nemusíte spoléhat na těžké chemické rozpouštědla, která se dříve používala ke snížení teploty v procesech s obsahem olova. Navíc, protože zdroj tepla zůstává fyzicky oddělen od vašeho produktu, je mnohem jednodušší dodržet požadavky na bezolovnaté materiály.
Výkon, rychlost a riziko poškození
Obvykle volíme tyto prvky na základě vlnové délky – krátkovlnné nebo střednovlnné – v závislosti na tloušťce materiálu. Krátkovlnné záření je nejúčinnější. Proniká hlouběji a rychleji. Dojde k rychlému zvyšování teploty, což znamená, že doby cyklů se výrazně zkracují. Je to opravdu úleva. Nemusíte plýtvat energií, zatímco se obrovská pec pomalu zahřívá. Je připravena během sekund. Ale musíte být opatrní s hustotou napětí. Pokud nasadíte příliš mnoho wattů do malé oblasti, můžete poškodit okraje materiálu. Aby se to nestalo, vždy používáme tyto prvky spolu s regulátory PID. To udržuje vše stabilní a zabrání nežádoucímu nadměrnému zahřátí.
Integrace do celku
Nejlepší na tom je, že tyto prvky lze v podstatě nahradit starými rezistivními zahřívači. Ušetří spoustu prostoru. Už nejsou potřeba objemné potrubí, která zabírají místo. Jelikož nemusíte zahřívat celý prostor rukavicové komory, sníží se také náklady na energii. Jediná rada: dávejte pozor na těsnění. Infračervené záření je silné, a pokud působí na špatné místo, může poškodit vidicí panely. Pokud to zvládnete, je to mnohem plynulejší způsob práce.