Ngăn chặn tình trạng đoản mạch: Đèn hồng ngoại chống thấm nước dành cho quy trình rửa wafer
Nếu bạn từng làm việc trong khu vực rửa wafer, bạn chắc hẳn hiểu rõ những khó khăn mà quy trình này mang lại. Bạn phải liên tục vật lộn với tình trạng quá nhiệt; bạn cần cho wafer nhanh chóng được làm nóng trở lại, nhưng các bộ phận gia nhiệt lại nằm ngay giữa làn sương ẩm và khí hóa chất. Điều này dễ dẫn đến tình trạng đoản mạch hoặc hỏng hóc các bộ phận liên quan.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chế tạo các đèn hồng ngoại có khả năng chống thấm nước. Như vậy, bạn không cần phải lo lắng mỗi khi quy trình rửa diễn ra nữa.
Tại sao chọn đèn hồng ngoại bước sóng ngắn?
Các lò nung kiểu cũ hoạt động rất chậm; chúng mất khá nhiều thời gian để làm nóng không khí trước khi có thể làm nóng wafer. Chúng tôi chọn đèn hồng ngoại bước sóng ngắn vì nó giúp tránh được bước trung gian này. Năng lượng được truyền trực tiếp từ đèn sang wafer. Quá trình này diễn ra rất nhanh.
Hơn nữa, vì các đèn này được kết nối trực tiếp với bộ điều khiển nhiệt độ, bạn có thể theo dõi được nhiệt độ thực tế tác động lên wafer. Nếu bạn muốn vận hành hệ thống một cách hiệu quả, đây chính là giải pháp tốt nhất.
Vấn đề khó khăn: Thiết kế linh kiện chống thấm nước trong môi trường ẩm ướt
Hầu hết các đèn hồng ngoại đều bị hỏng trong khu vực rửa wafer do các chi tiết kín nước bị rò rỉ. Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng vỏ đèn chống thấm nước và các chi tiết kín chất lượng cao ở chỗ dây điện kết nối với đèn.
Nhưng có một vấn đề: bạn không thể chỉ đơn giản đóng kín các chi tiết lại là xong. Thạch anh sẽ giãn nở khi bị nóng. Nếu vỏ đèn quá cứng, ống dẫn năng lượng sẽ bị nứt. Đây là sự cân bằng tinh tế giữa tính chống thấm nước và khả năng “thở” của vỏ đèn.
Một vài điều cần lưu ý
Nếu bạn sử dụng các đèn hồng ngoại có mật độ cao, thời gian làm nóng wafer sẽ rất nhanh. Nhưng hãy cẩn thận: lượng nhiệt lớn trong không gian hẹp sẽ gây áp lực lớn lên hệ thống điện.
Nếu bạn sử dụng nhiều đèn 2kW trong một mô-đun duy nhất, đừng quên lắp đặt quạt làm mát và các bộ tản nhiệt. Nếu không, các linh kiện điện tử gần đó sẽ bị hỏng.
Điều tốt là: các hệ thống này có thể được kết nối trực tiếp vào PLC thông qua các giao thức tiêu chuẩn hiện có. Đây là giải pháp thay thế tuyệt vời cho những bộ sưởi cũ kỹ, chậm chạp, không thể đáp ứng được yêu cầu về tốc độ xử lý cao. Bạn sẽ không còn phải đoán mò nữa, mà có thể theo dõi được mọi thứ một cách chính xác.