Ở bên ngoài, những tấm wafer có kích thước 200mm đang chờ đợi lượt được xử lý bằng chất phủ quang học. Việc gia nhiệt là bước không thể bỏ qua – đó là yêu cầu bắt buộc trong quy trình sản xuất. Nếu nhiệt độ thay đổi dù chỉ vài phần trăm độ, kích thước của các chi tiết trên wafer sẽ thay đổi, khiến quy trình sản xuất bị gián đoạn. Chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại để kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, nhằm tránh những sai số này.
Về mặt kỹ thuật, chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại tia ngắn để tạo ra hiệu ứng gia nhiệt nhanh chóng và trực tiếp. Ánh sáng từ đèn có thể xuyên qua silicon và các lớp màng mỏng một cách hiệu quả. Hệ thống này giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C; độ lặp lại của quy trình cũng ở mức ±0,2°C giữa các lần xử lý.
Thời gian phản ứng của hệ thống dưới 50 ms, vì vậy bạn có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác trong suốt quá trình gia nhiệt. Hệ thống được thiết kế sao cho hoạt động trong môi trường sạch, với mức độ ô nhiễm bằng không; các linh kiện sử dụng đều làm từ vật liệu có độ tinh khiết cao, nhằm giảm tối đa việc thoát khí ra ngoài.
Tại sao phương pháp này lại hiệu quả? Trong quy trình in ấn, chúng ta cần quá trình gia nhiệt đồng đều để duy trì độ dày của chất phủ quang học và loại bỏ các sóng âm trong vật liệu. Trong quy trình đóng gói, chúng ta cần quá trình gia nhiệt giúp liên kết các thành phần lại với nhau mà không gây quá nhiệt cho các lớp vật liệu dưới đó. Trong quy trình làm sạch và sấy khô, chúng ta cần nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ để loại bỏ các chất hòa tan mà không gây ra các vấn đề về kết cấu vật liệu.
Những chiếc đèn này giúp chúng ta kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, và chúng tiêu thụ ít năng lượng hơn so với các lò sưởi thông thường. Thời gian hoạt động của chúng cũng rất dài – có thể lên đến 5.000 giờ, với mức suy giảm hiệu suất dưới 5%. Điều này có nghĩa là chúng ta cần thay thế đèn ít hơn, và quy trình sản xuất vẫn ổn định.
Điều bạn cần biết trước khi lắp đặt: Bạn cần đảm bảo rằng các thông số kỹ thuật của thiết bị phù hợp với cấu trúc cơ học và giao diện điện của nó. Bạn cần biết thông số điện áp, loại kết nối, và phương thức làm mát – dùng không khí hay nước – trước khi đặt hàng.
Ánh sáng từ đèn chỉ có thể chiếu theo đường thẳng, vì vậy các bộ phận cố định wafer có thể tạo ra những vùng lạnh. Việc căn chỉnh và điều chỉnh hướng ánh sáng cũng là một phần quan trọng trong quá trình lắp đặt.
Bạn cần chờ một thời gian ngắn để đảm bảo rằng đèn hoạt động ổn định và độ đồng đều về nhiệt độ được duy trì. Một khi mọi thứ đã được điều chỉnh ổn định, quy trình sản xuất sẽ diễn ra một cách ổn định.