Trên tầng lithography, một lần soft bake chệch chỉ một độ cũng làm độ dày photoresist sai quy chuẩn. Non-uniformity ở hard bake? Đó là nguyên nhân gây sập mẫu. Các đèn gia nhiệt trên wafer track không chỉ là các bộ phận—chúng là chốt nhiệt giữ cho quy trình ổn định, ca này qua ca khác.
Những điểm quan trọng bên trong
Chúng tôi thiết kế đèn này dựa trên các bóng halogen phát bức xạ hồng ngoại sóng ngắn (SWIR) trong vỏ thạch anh. Mục đích là truyền năng lượng trực tiếp vào photoresist, không làm nóng buồng xử lý. Bạn đạt được độ đồng đều nhiệt ở mức wafer trong phạm vi ±0,1°C trên bề mặt bake, cùng độ ổn định điểm đặt duy trì liên tục theo nhịp độ làm việc 24/7 của fab. Đầu ra duy trì lặp lại từ 100°C đến 250°C, với thời gian hồi phục dưới giây sau khi tải wafer—giúp ngân sách nhiệt được kiểm soát chặt chẽ. Bộ đóng gói phù hợp tiêu chuẩn phòng sạch lớp 1–100, được xác minh không phát sinh hạt qua giám sát tại chỗ, và tương thích với bố cục cũng như chuẩn giao diện của các nền tảng wafer track chính.
Lý do nó bền vững trong sản xuất
Trên wafer track, bạn cần hồ sơ nhiệt bake duy trì ổn định qua các lô, ca làm việc, và ngay cả khi đèn đã già. Đèn này đáp ứng yêu cầu đó. Kết quả là ít sai lệch về kích thước mẫu (CD) và độ dày hơn, giảm phế phẩm, và chu kỳ đánh giá nhanh gọn hơn. Bạn cũng tiết kiệm năng lượng vì SWIR trực tiếp làm nóng resist thay vì làm nóng toàn bộ module. Thêm vào đó, tuổi thọ bóng cao giúp giảm tần suất dừng bảo trì phòng ngừa. Đây là giải pháp thay thế được xác minh, tương đương với nguồn nhiệt thiết bị gốc, phù hợp tiêu chuẩn quốc tế về thiết bị bán dẫn về hiệu suất và độ tin cậy.
Lưu ý khi lắp đặt
Cường độ SWIR cao nên khi lắp cần căn chỉnh quang học và che chắn thật sạch sẽ—nếu không sẽ có nguy cơ tạo điểm nóng và làm hỏng polymer lân cận. Đèn hoạt động với điện áp và đầu nối chuẩn, nhưng vẫn cần chốt nhiệt ổn định và hệ thống thoát khí phù hợp để duy trì số hạt trong phòng sạch ở mức giới hạn. Dự kiến thời gian tăng nhiệt ngắn để đạt cân bằng nhiệt sau khi thay đèn, rồi đánh giá lại hồ sơ bake trước khi cho chạy dây chuyền.