Tại sao chúng tôi thay thế khí nóng bằng đèn hồng ngoại trong quy trình xử lý chất lượng cao?
Nếu bạn vẫn sử dụng khí nóng để làm nóng các tấm wafer, thì bạn đang lãng phí thời gian một cách vô ích. Hãy suy nghĩ kỹ: Khí nóng chỉ là hiện tượng đối lưu thôi. Bạn làm nóng không khí, và không khí lại làm nóng bề mặt wafer. Quá trình này diễn ra rất chậm. Bạn phải chờ đợi một khoảng thời gian dài cho đến khi nhiệt độ lan tỏa đến bề mặt wafer. Đó là một quá trình chậm chạp.
Việc sử dụng đèn hồng ngoại có độ tinh khiết cực cao sẽ thay đổi hoàn toàn tình hình. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, bạn chỉ cần chiếu bức xạ điện từ trực tiếp vào bề mặt wafer, với tốc độ ánh sáng. Đó là quá trình tức thì. Khi thời gian khởi động và dừng quy trình được rút ngắn, năng suất sản xuất sẽ tăng lên đáng kể. Chỉ cần giảm được 30 giây cho mỗi chu kỳ, bạn đã tiết kiệm được rất nhiều thời gian – và doanh thu cũng tăng lên đáng kể. Đó là một lợi ích to lớn.
Nhưng bạn không thể đơn giản sử dụng bóng đèn halogen thông thường được. Trong môi trường chân không chứa nhiều khí độc hại, bóng đèn thông thường sẽ không thể hoạt động hiệu quả. Chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao, vì chúng ta không thể chấp nhận việc có bất kỳ tạp chất nào thoát ra từ thủy tinh và ảnh hưởng đến chất lượng wafer. Đơn giản thôi.
Nhưng điều thật sự tuyệt vời là mật độ công suất của đèn hồng ngoại. Chúng ta có thể tích hợp rất nhiều watt vào một thiết bị nhỏ gọn. Điều này giúp bạn đạt được nhiệt độ mong muốn ngay lập tức. Không cần phải chờ đợi quạt thổi khí nữa. Bạn có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác.
Tuy nhiên, cũng có một số điều cần lưu ý. Ánh sáng hồng ngoại có hướng chiếu cố định; nó không thể “lan tỏa” như khí nóng. Vì vậy, bạn cần đặt đèn ở vị trí phù hợp. Nếu đèn được đặt sai vị trí, bạn sẽ gặp phải những vùng lạnh trên bề mặt wafer.
Một lưu ý nữa: Những đèn hồng ngoại có công suất cao này rất nóng, đặc biệt là ở các đầu dây kết nối. Nếu hệ thống dây điện hoặc bộ tản nhiệt không đủ tốt, bạn sẽ gặp vấn đề với các đầu nối của mình. Hãy chọn thiết bị phù hợp để đảm bảo hiệu quả cao nhất.